| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 蓝宝石单晶生长与应用 | 第10-16页 |
| 1.2.1 蓝宝石单晶体的晶体结构与性能 | 第10-11页 |
| 1.2.2 蓝宝石单晶体的主要应用 | 第11-15页 |
| 1.2.3 蓝宝石单晶的生长方法 | 第15-16页 |
| 1.3 蓝宝石单晶中残余应力的来源 | 第16-17页 |
| 1.3.1 内部因素 | 第16-17页 |
| 1.3.2 外部因素 | 第17页 |
| 1.4 单晶体材料残余应力测量技术发展现状 | 第17-20页 |
| 1.4.1 光弹法 | 第17页 |
| 1.4.2 中子衍射法 | 第17-18页 |
| 1.4.3 能量射散法 | 第18-19页 |
| 1.4.4 X射线衍射法 | 第19-20页 |
| 1.5 蓝宝石单晶残余应力测量方法的选择 | 第20-21页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 试样制备与实验仪器 | 第23-25页 |
| 2.1 试样材料 | 第23页 |
| 2.2 试样制备 | 第23-24页 |
| 2.3 实验仪器及内容 | 第24-25页 |
| 2.3.1 实验仪器 | 第24页 |
| 2.3.2 残余应力测量内容 | 第24-25页 |
| 第3章 多重线性回归方法理论研究 | 第25-34页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 极图 | 第25-26页 |
| 3.3 多重线性回归方法原理研究 | 第26-33页 |
| 3.3.1 单晶定向 | 第26-27页 |
| 3.3.2 立方晶系单晶残余应力测量原理 | 第27-31页 |
| 3.3.3 六方晶系单晶残余应力测量原理 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 原理验证及测试方法精确性分析 | 第34-63页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 测定单晶铁的残余应力 | 第34-39页 |
| 4.2.1 单晶铁定向 | 第34-36页 |
| 4.2.2 单晶铁应力测量 | 第36-37页 |
| 4.2.3 晶面数组数对残余应力测量结果的影响 | 第37-39页 |
| 4.3 选择{2010}晶面族测量单晶硅的残余应力 | 第39-43页 |
| 4.3.1 单晶定向 | 第39-40页 |
| 4.3.2 残余应力测量 | 第40-41页 |
| 4.3.3 晶面数组数对结果的影响 | 第41-43页 |
| 4.4 改变检测点选择{2010}晶面族测单晶硅的残余应力 | 第43-47页 |
| 4.4.1 单晶定向 | 第43-45页 |
| 4.4.2 残余应力测量 | 第45-46页 |
| 4.4.3 晶面数组数对结果的影响 | 第46-47页 |
| 4.5 选择{217}晶面族测量单晶硅的残余应力 | 第47-52页 |
| 4.5.1 单晶定向 | 第47-49页 |
| 4.5.2 残余应力测量 | 第49-50页 |
| 4.5.3 晶面组数对结果的影响 | 第50-52页 |
| 4.6 选择{214}晶面族测量单晶硅的残余应力 | 第52-56页 |
| 4.6.1 单晶定向 | 第52-53页 |
| 4.6.2 残余应力测量 | 第53-54页 |
| 4.6.3 晶面组数对结果的影响 | 第54-56页 |
| 4.7 选择{218}晶面族测量单晶硅的残余应力 | 第56-60页 |
| 4.7.1 单晶定向 | 第56-57页 |
| 4.7.2 残余应力测量 | 第57-58页 |
| 4.7.3 晶面组数对结果的影响 | 第58-60页 |
| 4.8 晶面族对测量结果的影响 | 第60-62页 |
| 4.9 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 蓝宝石单晶残余应力的测量 | 第63-74页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 选择{330}晶面族测量蓝宝石单晶的残余应力 | 第63-68页 |
| 5.2.1 单晶定向 | 第63-64页 |
| 5.2.2 蓝宝石单晶应力测量 | 第64-66页 |
| 5.2.3 晶面组数的影响 | 第66-68页 |
| 5.3 选择{4010}晶面族测量蓝宝石单晶的残余应力 | 第68-73页 |
| 5.3.1 单晶定向 | 第68-69页 |
| 5.3.2 蓝宝石单晶应力测量 | 第69-71页 |
| 5.3.3 晶面组数的影响 | 第71-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
