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脉冲激光诱导Ge2Sb2Te5材料晶化行为研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-24页
    1.1 引言第10页
    1.2 存储器分类第10-14页
        1.2.1 闪存存储器第11页
        1.2.2 铁电存储器第11-12页
        1.2.3 磁随机存储器第12-13页
        1.2.4 相变光存储器第13-14页
    1.3 相变光存储材料第14-16页
        1.3.1 Ge-Sb-Te三元化合物第15-16页
        1.3.2 Ag-In-Sb-Te四元合金第16页
    1.4 国内外研究现状第16-22页
    1.5 论文研究目的及意义第22-24页
第2章 实验方案设计第24-32页
    2.1 实验过程第24-25页
        2.1.1 静态等温诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化过程第24页
        2.1.2 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化过程第24-25页
    2.2 样品制备第25页
    2.3 实验系统第25-26页
    2.4 实验设备第26-30页
    2.5 本章小结第30-32页
第3章 等温退火与脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化对比第32-42页
    3.1 经典形核理论第32-34页
    3.2 静态等温退火诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化分析第34-36页
    3.3 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化表面形貌分析第36-39页
    3.4 静态退火与激光诱导晶化特点对比第39-40页
    3.5 本章小结第40-42页
第4章 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5沿厚度方向晶化研究第42-52页
    4.1 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5沿厚渡方向TEM分析第42-44页
    4.2 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5晶化有限元模型第44-45页
    4.3 脉冲激光诱导Ge_2Sb_2Te_5热力学分析第45-50页
    4.4 本章小结第50-52页
结论第52-54页
参考文献第54-58页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第58-60页
致谢第60页

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