| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的提出 | 第9-10页 |
| 1.2 热式微流量传感器的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第14-16页 |
| 2 热式微流量传感器及其检测系统简介 | 第16-24页 |
| 2.1 热式微流量传感器的工作原理 | 第16-20页 |
| 2.1.1 同质流体运动的方程描述 | 第16-17页 |
| 2.1.2 流体动力学边界层 | 第17-18页 |
| 2.1.3 热边界层 | 第18-19页 |
| 2.1.4 ANSYS仿真软件在热分析中的应用 | 第19-20页 |
| 2.2 温度检测方法简介 | 第20-22页 |
| 2.2.1 温度传感器简介 | 第20-21页 |
| 2.2.2 Pt薄膜电阻及其温度特性 | 第21-22页 |
| 2.3 上位机软件开发方法及C | 第22-24页 |
| 2.3.1 上位机软件开发方法 | 第22页 |
| 2.3.2. NET Framework和C | 第22-24页 |
| 3 热式微流量传感器仿真及其设计制作 | 第24-35页 |
| 3.1 热式微流量传感器的ANSYS仿真 | 第24-30页 |
| 3.1.1 不同形状加热器的加热效果 | 第24-27页 |
| 3.1.2 热式微流量传感器仿真 | 第27-30页 |
| 3.2 热式微流量传感器的设计及其制作 | 第30-35页 |
| 3.2.1 热式微流量传感器设计及掩膜版制作 | 第31-33页 |
| 3.2.2 微流量传感器工艺制作 | 第33-34页 |
| 3.2.3 微流量传感器的焊接及封装 | 第34-35页 |
| 4 微流量传感器检测系统设计 | 第35-46页 |
| 4.1 系统整体设计方案 | 第35页 |
| 4.2 模拟电路设计 | 第35-41页 |
| 4.2.1 流量采集电路 | 第36-38页 |
| 4.2.2 求差电路 | 第38页 |
| 4.2.3 线性放大电路 | 第38-39页 |
| 4.2.4 双向限幅电路 | 第39-40页 |
| 4.2.5 输出电路 | 第40页 |
| 4.2.6 模拟部分电路仿真 | 第40-41页 |
| 4.3 数字电路设计 | 第41-43页 |
| 4.3.1 单片机系统设计 | 第41-42页 |
| 4.3.2 电平转换电路设计 | 第42-43页 |
| 4.4 上位机程序设计 | 第43-44页 |
| 4.5 印制电路板实现 | 第44-46页 |
| 5 微流量传感器测试结果及其分析 | 第46-66页 |
| 5.1 微流量检测系统平台搭建 | 第46-47页 |
| 5.2 微流量传感器的标定及测量结果分析 | 第47-53页 |
| 5.2.1 环境温度与加热器温度场分布关系 | 第47-51页 |
| 5.2.2 微流量传感器的标定 | 第51-52页 |
| 5.2.3 微流量传感器的实际测量 | 第52-53页 |
| 5.3 微流量传感器用于平板微热管测量的可行性分析及其结构优化 | 第53-63页 |
| 5.3.1 测试平台的搭建 | 第54-55页 |
| 5.3.2 微热管内部温度分布 | 第55-57页 |
| 5.3.3 微流量传感器的结构优化 | 第57页 |
| 5.3.4 微流量传感器的标定 | 第57-58页 |
| 5.3.5 微流量传感器的误差分析 | 第58-62页 |
| 5.3.6 内置微流量传感器对微热管性能的影响 | 第62-63页 |
| 5.4 微流量传感器在平板微热管中的应用 | 第63-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |