| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 微机电系统的应用及微观磨损问题 | 第13-16页 |
| 1.2.1 微机电系统的概述 | 第13页 |
| 1.2.2 MEMS的应用 | 第13-15页 |
| 1.2.3 MEMS中的微观磨损问题 | 第15-16页 |
| 1.3 MEMS减摩耐磨设计研究进展 | 第16-27页 |
| 1.3.1 MEMS减摩耐磨设计 | 第16-17页 |
| 1.3.2 MEMS减摩降磨研究进展 | 第17-22页 |
| 1.3.3 单晶硅磨损防护研究进展 | 第22-27页 |
| 1.4 研究意义和内容 | 第27-30页 |
| 1.4.1 课题的研究意义 | 第27页 |
| 1.4.2 课题的研究内容 | 第27-30页 |
| 第2章 实验方法 | 第30-39页 |
| 2.1 实验材料 | 第30页 |
| 2.2 实验设备 | 第30-34页 |
| 2.2.1 原子力显微镜 | 第30-31页 |
| 2.2.2 原子力显微镜外接气氛控制系统 | 第31-34页 |
| 2.2.2.1 气氛控制系统研制 | 第32-34页 |
| 2.2.2.2 气氛控制系统的控制原理 | 第34页 |
| 2.3 微观摩擦磨损实验条件 | 第34-35页 |
| 2.4 实验数据获取 | 第35-38页 |
| 2.4.1 粘着力的检测 | 第35-36页 |
| 2.4.2 摩擦力的检测及计算 | 第36-37页 |
| 2.4.3 形貌的表征 | 第37-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 环境湿度和乙醇相对分压对Si/SiO_2配副纳米磨损防护的影响规律 | 第39-54页 |
| 3.1 大气环境下乙醇对Si/SiO_2配副纳米磨损防护作用 | 第39-42页 |
| 3.1.1 大气环境下乙醇对Si/SiO_2配副纳米磨损的影响 | 第39-41页 |
| 3.1.2 不同实验环境下Si/SiO_2配副摩擦力的变化 | 第41-42页 |
| 3.2 低湿度环境下乙醇相对分压对Si/SiO_2配副纳米磨损的影响 | 第42-48页 |
| 3.2.1 低湿度环境对Si/SiO_2配副纳米磨损的影响 | 第43-45页 |
| 3.2.2 低湿度环境下乙醇相对分压对Si/SiO_2配副纳米磨损防护的影响 | 第45-48页 |
| 3.3 高湿度环境下乙醇相对分压对Si/SiO_2配副纳米磨损的影响 | 第48-51页 |
| 3.3.1 高湿度环境对Si/SiO_2配副纳米磨损的影响 | 第48-49页 |
| 3.3.2 高湿度环境中Si/SiO_2配副在不同乙醇相对分压下的纳米磨损行为 | 第49-51页 |
| 3.4 水和乙醇共同作用下Si/SiO_2配副的纳米磨损云图 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 水和乙醇共吸附对Si/SiO_2配副纳米磨损防护机理的探究 | 第54-65页 |
| 4.1 单晶硅表面水和乙醇共吸附特性探究 | 第54-57页 |
| 4.1.1 水和乙醇混合环境下单晶硅表面吸附层化学特性分析 | 第54-56页 |
| 4.1.2 水和乙醇混合环境下单晶硅表面吸附层粘着力特性分析 | 第56-57页 |
| 4.2. Si/SiO_2配副纳米磨损行为与摩擦耗散能的关系 | 第57-60页 |
| 4.2.1 环境湿度和乙醇相对分压对F_t-N曲线的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.2 摩擦耗散能对Si/SiO_2配副纳米磨损防护的影响规律 | 第58-60页 |
| 4.3 水和乙醇共吸附环境下单晶硅磨损和防护机制 | 第60-63页 |
| 4.3.1 高湿度/低乙醇相对分压磨损机理 | 第61-62页 |
| 4.3.2 低湿度/高乙醇相对分压防护机理 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 结论与展望 | 第65-67页 |
| 主要结论 | 第65页 |
| 研究展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第73页 |
