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石墨烯的化学气相沉积及其在光电器件中的应用

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第11-23页
    1.1 石墨烯简介第11-14页
        1.1.1 石墨烯的发现第11-12页
        1.1.2 石墨烯的晶体结构第12-13页
        1.1.3 石墨烯的能带结构第13-14页
        1.1.4 石墨烯的电学性质第14页
        1.1.5 石墨烯的光学性质第14页
    1.2 石墨烯的制备方法第14-16页
    1.3 石墨烯的应用第16-18页
    1.4 石墨烯的检测与分析方法第18-21页
        1.4.1 光学显微镜第18-19页
        1.4.2 拉曼光谱第19-20页
        1.4.3 原子力显微镜和透射电子显微镜第20页
        1.4.4 霍尔测试第20页
        1.4.5 透光率测试第20-21页
    1.5 本文主要研究内容及创新点第21-23页
第二章 石墨烯的制备与转移第23-33页
    2.1 冷壁化学气相沉积系统第23-26页
    2.2 CVD法制备石墨烯的基本原理第26-27页
    2.3 石墨烯的转移第27-33页
        2.3.1 腐蚀基地法转移第27-30页
        2.3.2 鼓泡法转移第30-33页
第三章 石墨烯的冷壁系统化学气相外延研究第33-53页
    3.1 金属箔片作为催化剂的石墨烯CVD生长第33-37页
        3.1.1 铜箔作为催化剂的石墨烯CVD生长第33-36页
        3.1.2 铂箔作为催化剂的CVD催化生长第36-37页
    3.2 硅镀铜作为催化的石墨烯CVD生长第37-41页
        3.2.1 硅镀铜作为催化剂最佳生长条件的研究第37-39页
        3.2.2 铜-硅自剥离石墨烯CVD生长第39-41页
    3.3 液态铜作为催化剂的石墨烯CVD生长第41-45页
        3.3.1 材料制备第42页
        3.3.2 测试与分析第42-45页
    3.4 在GaN衬底上的直接生长第45-50页
        3.4.1 基本理论第45-46页
        3.4.2 材料制备与分析第46-48页
        3.4.3 镀铜二次催化第48-50页
    3.5 冷壁CVD系统的快速生长机理研究第50-53页
第四章 石墨烯作为透明导电层在GaN LED中应用的关键技术研究第53-89页
    4.1 石墨烯透明导电层概述第53-55页
    4.2 GaN LED简介第55-63页
        4.2.1 GaN LED发展历史第56页
        4.2.2 LED发光原理第56-58页
        4.2.3 GaN LED的器件结构与制作工艺第58-62页
        4.2.4 GaN LED的性能参数第62-63页
    4.3 石墨烯-GaN LED研究第63-71页
        4.3.1 石墨烯-GaN LED的制备第63-68页
        4.3.2 测试与分析第68-71页
    4.4 石墨烯与p型GaN的欧姆接触第71-72页
    4.5 应用ITO过渡层的石墨烯-GaN LED第72-80页
        4.5.1 应用ITO插入层的石墨烯-GaN LED的理论第72-73页
        4.5.2 应用ITO插入层的石墨烯-GaN LED的器件制备第73-75页
        4.5.3 测试与分析第75-80页
    4.6 石墨烯-GaN LED的热稳定研究第80-89页
        4.6.1 石墨烯的热稳定性第80-83页
        4.6.2 有台阶的石墨烯的导电稳定性第83-85页
        4.6.3 石墨烯-GaN LED的稳定性第85-89页
第五章 应用表面纳米结构的石墨烯-GaN LED第89-105页
    5.1 应用纳米柱结构的石墨烯-GaN LED第89-100页
        5.1.1 应用纳米柱结构的石墨烯-GaN LED的理论第89-92页
        5.1.2 应用纳米柱结构的石墨烯-GaN LED的实验第92-94页
        5.1.3 测试与分析第94-100页
    5.2 应用光子晶体结构的的石墨烯-GaN LED第100-105页
        5.2.1 应用光子晶体结构的的石墨烯-GaN LED的理论第100-101页
        5.2.2 应用光子晶体结构的的石墨烯-GaN LED的器件制备第101-102页
        5.2.3 测试与分析第102-105页
第六章 石墨烯在光电探测器中的应用第105-129页
    6.1 石墨烯-GaN紫外探测器的研究第105-118页
        6.1.1 石墨烯-GaN紫外探测器的基本理论第106-108页
        6.1.2 石墨烯-GaN紫外探测器的制备第108-110页
        6.1.3 器件测试与分析第110-118页
    6.2 石墨烯-nGaN紫外探测器性能提高研究第118-123页
    6.3 场效应调制掺杂的石墨烯pn结光电探测器第123-129页
        6.3.1 石墨烯pn结探测器概述第123-124页
        6.3.2 器件工艺制备第124-126页
        6.3.3 测试与分析第126-129页
结论第129-131页
参考文献第131-139页
攻读博士期间所取得的成果第139-141页
致谢第141-142页

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