| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 测量不确定度评估方法的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 测量不确定度在干涉面形检测领域的研究现状及进展 | 第17-21页 |
| 1.4 自上而下方法评估测量不确定度 | 第21-24页 |
| 1.4.1 实验室内复现性引入的不确定度分量 | 第22-23页 |
| 1.4.2 偏移引入的不确定度分量 | 第23-24页 |
| 1.5 自下而上方法评估测量不确定度 | 第24-26页 |
| 1.5.1 A类不确定度分量 | 第25页 |
| 1.5.2 B类不确定度分量 | 第25-26页 |
| 1.6 论文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 绝对检测技术及其不确定度源分析 | 第28-46页 |
| 2.1 概述 | 第28页 |
| 2.2 三平板法 | 第28-32页 |
| 2.3 双球面法 | 第32-36页 |
| 2.4 随机球法 | 第36-40页 |
| 2.5 平移旋转法 | 第40-43页 |
| 2.6 逆向优化法 | 第43-44页 |
| 2.7 几种绝对面形检测技术对比 | 第44-45页 |
| 2.8 本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 基于模型的绝对面形重构技术及其不确定度评估 | 第46-61页 |
| 3.1 概述 | 第46页 |
| 3.2 基于模型的绝对面形重构技术 | 第46-54页 |
| 3.2.1 正向建模 | 第46-49页 |
| 3.2.2 逆向求解 | 第49-53页 |
| 3.2.3 基于模型的绝对面形重构技术实例 | 第53-54页 |
| 3.3 测量误差的传递与不确定度评估 | 第54-56页 |
| 3.4 基于模型的不确定度评估方法 | 第56-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第4章 通用三平板绝对检测技术及其不确定度源分析 | 第61-80页 |
| 4.1 概述 | 第61页 |
| 4.2 通用迭代算法求解三平板问题 | 第61-64页 |
| 4.2.1 通用三平板法模型建立 | 第61-62页 |
| 4.2.2 通用迭代优化算法求解三平板模型 | 第62-64页 |
| 4.3 方法确认 | 第64-74页 |
| 4.3.1 仿真分析 | 第65-69页 |
| 4.3.2 实验验证 | 第69-71页 |
| 4.3.3 加速因子的选择 | 第71-74页 |
| 4.4 通用三平板法不确定度源分析 | 第74-79页 |
| 4.4.1 模型引入的误差 | 第74-75页 |
| 4.4.2 环境噪声影响 | 第75-77页 |
| 4.4.3 原始面形质量影响 | 第77页 |
| 4.4.4 实验操作引入的误差 | 第77-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 拟蒙特卡洛方法评估测量不确定度 | 第80-97页 |
| 5.1 概述 | 第80页 |
| 5.2 拟蒙特卡洛方法评估通用三平板法测量结果的不确定度 | 第80-93页 |
| 5.2.1 实验设计 | 第80-81页 |
| 5.2.2 GUM方法评估三平板测量结果的不确定度 | 第81-89页 |
| 5.2.3 拟蒙特卡洛方法评估三平板测量结果的不确定度 | 第89-93页 |
| 5.3 交叉对比验证 | 第93-96页 |
| 5.4 本章小结 | 第96-97页 |
| 第6章 精度保证 | 第97-116页 |
| 6.1 概述 | 第97页 |
| 6.2 三平板法绝对测量的误差分配 | 第97-98页 |
| 6.3 三平板法绝对测量的精度保证 | 第98-99页 |
| 6.4 基于模型的重力变形补偿技术 | 第99-108页 |
| 6.4.1 三点支撑重力变形FEM计算 | 第100-101页 |
| 6.4.2 旋转差分法提取重力变形 | 第101-102页 |
| 6.4.3 基于模型的重力变形补偿技术 | 第102-108页 |
| 6.5 优化测量条件配置 | 第108-114页 |
| 6.5.1 单次旋转迭代求解 | 第108-110页 |
| 6.5.2 单次旋转角度的优化 | 第110页 |
| 6.5.3 多次旋转角度的优化配置 | 第110-112页 |
| 6.5.4 实验验证 | 第112-114页 |
| 6.6 本章小结 | 第114-116页 |
| 第7章 总结与展望 | 第116-121页 |
| 7.1 全文总结 | 第116-118页 |
| 7.2 主要创新点 | 第118-119页 |
| 7.3 研究展望 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-128页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第128-129页 |
