| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 绪论 | 第12-24页 |
| ·半导体材料及其在传感器中的应用 | 第12-14页 |
| ·传感器的概述 | 第14-18页 |
| ·传感器的分类 | 第15-16页 |
| ·气体传感器 | 第16-18页 |
| ·气体传感器的分类 | 第16-17页 |
| ·半导体氧化物型气体传感器 | 第17页 |
| ·接触燃烧式气体传感器 | 第17-18页 |
| ·红外气体传感器 | 第18页 |
| ·光波导技术及光波导传感器 | 第18-22页 |
| ·光波导技术的发展 | 第18-19页 |
| ·光波导传感器的特点 | 第19-20页 |
| ·光波导传感器的分类 | 第20-22页 |
| ·表面等离子体共振性光波导传感器 | 第20-21页 |
| ·平面薄膜光波导传感器 | 第21-22页 |
| ·课题来源及论文工作 | 第22-24页 |
| 第二章 光波导理论 | 第24-37页 |
| ·光的传播 | 第24-25页 |
| ·光波导基础知识 | 第25-27页 |
| ·光波导技术在传感器中的应用 | 第25-26页 |
| ·玻璃光波导的制作技术 | 第26-27页 |
| ·平面波导的结构及光波的传播方式 | 第27-30页 |
| ·古斯-汉欣位移 | 第30-31页 |
| ·光波导的传感原理 | 第31-32页 |
| ·平面光波导中的光耦合 | 第32-37页 |
| ·棱镜耦合 | 第33-35页 |
| ·光栅耦合 | 第35-37页 |
| 第三章 In_2O_3纳米薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究 | 第37-47页 |
| ·前言 | 第37-38页 |
| ·实验部分 | 第38-41页 |
| ·试剂和仪器 | 第38页 |
| ·敏感薄膜的制备 | 第38-39页 |
| ·检测系统 | 第39-40页 |
| ·标准气体的配制 | 第40-41页 |
| ·结构与讨论 | 第41-46页 |
| ·In_2O_3 薄膜的XRD 谱图分析 | 第41页 |
| ·薄膜的吸光度变化 | 第41-42页 |
| ·传感元件的气敏性 | 第42-46页 |
| ·选择性研究 | 第42-43页 |
| ·二甲苯气体的响应 | 第43-45页 |
| ·检测气体原理 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第四章 NIO- IN_20_3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究 | 第47-59页 |
| ·前言 | 第47页 |
| ·实验部分 | 第47-48页 |
| ·试剂和仪器 | 第47-48页 |
| ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的制备 | 第48页 |
| ·结构与讨论 | 第48-57页 |
| ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的选择 | 第48-49页 |
| ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的表征 | 第49-51页 |
| ·NiO- In_2O_3复合薄膜的电子能谱图 | 第49页 |
| ·NiO- In_2O_3复合薄膜的红外图 | 第49-51页 |
| ·NiO- In_2O_3复合薄膜的吸光度变化 | 第51页 |
| ·NiO- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件的气敏性研究 | 第51-57页 |
| ·选择性研究 | 第51-53页 |
| ·气敏元件对二甲苯，氯苯和苯乙烯蒸汽的响应曲线 | 第53-57页 |
| ·小结 | 第57-59页 |
| 第五章 Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究 | 第59-67页 |
| ·前言 | 第59页 |
| ·实验部分 | 第59-60页 |
| ·试剂和仪器 | 第59-60页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的制备 | 第60页 |
| ·结果与讨论 | 第60-66页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3复合薄膜的选择 | 第60-62页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的表征 | 第62-63页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的电子能谱图 | 第62页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的XRD 图 | 第62-63页 |
| ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的气敏性研究 | 第63-66页 |
| ·气敏元件的吸光度变化 | 第63-64页 |
| ·传感元件的气敏性 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章La_20_3- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究 | 第67-78页 |
| ·前言 | 第67页 |
| ·实验部分 | 第67-68页 |
| ·试剂和仪器 | 第67-68页 |
| ·La_20_3- In_2O_3 复合薄膜的制备 | 第68页 |
| ·结果与讨论 | 第68-76页 |
| ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的表征 | 第68-70页 |
| ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的电子能谱图 | 第68-69页 |
| ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的XRD 图 | 第69-70页 |
| ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的气敏性研究 | 第70-76页 |
| ·La_20_3-In_2O_3复合薄膜的选择 | 第70页 |
| ·La_20_3-In_2O_3复合薄膜的吸光度变化 | 第70-71页 |
| ·传感元件的气敏性 | 第71-76页 |
| ·小结 | 第76-78页 |
| 第七章 总结 | 第78-82页 |
| 参考文献 | 第82-91页 |
| 研究生期间发表论文 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
