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In2O3复合薄膜的制备及其气敏性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-12页
绪论第12-24页
   ·半导体材料及其在传感器中的应用第12-14页
   ·传感器的概述第14-18页
     ·传感器的分类第15-16页
     ·气体传感器第16-18页
       ·气体传感器的分类第16-17页
       ·半导体氧化物型气体传感器第17页
       ·接触燃烧式气体传感器第17-18页
       ·红外气体传感器第18页
   ·光波导技术及光波导传感器第18-22页
     ·光波导技术的发展第18-19页
     ·光波导传感器的特点第19-20页
     ·光波导传感器的分类第20-22页
       ·表面等离子体共振性光波导传感器第20-21页
       ·平面薄膜光波导传感器第21-22页
   ·课题来源及论文工作第22-24页
第二章 光波导理论第24-37页
   ·光的传播第24-25页
   ·光波导基础知识第25-27页
     ·光波导技术在传感器中的应用第25-26页
     ·玻璃光波导的制作技术第26-27页
   ·平面波导的结构及光波的传播方式第27-30页
   ·古斯-汉欣位移第30-31页
   ·光波导的传感原理第31-32页
   ·平面光波导中的光耦合第32-37页
     ·棱镜耦合第33-35页
     ·光栅耦合第35-37页
第三章 In_2O_3纳米薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究第37-47页
   ·前言第37-38页
   ·实验部分第38-41页
     ·试剂和仪器第38页
     ·敏感薄膜的制备第38-39页
     ·检测系统第39-40页
     ·标准气体的配制第40-41页
   ·结构与讨论第41-46页
     ·In_2O_3 薄膜的XRD 谱图分析第41页
     ·薄膜的吸光度变化第41-42页
     ·传感元件的气敏性第42-46页
       ·选择性研究第42-43页
       ·二甲苯气体的响应第43-45页
       ·检测气体原理第45-46页
   ·小结第46-47页
第四章 NIO- IN_20_3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究第47-59页
   ·前言第47页
   ·实验部分第47-48页
     ·试剂和仪器第47-48页
     ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的制备第48页
   ·结构与讨论第48-57页
     ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的选择第48-49页
     ·NiO- In_2O_3 复合薄膜的表征第49-51页
       ·NiO- In_2O_3复合薄膜的电子能谱图第49页
       ·NiO- In_2O_3复合薄膜的红外图第49-51页
       ·NiO- In_2O_3复合薄膜的吸光度变化第51页
     ·NiO- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件的气敏性研究第51-57页
       ·选择性研究第51-53页
       ·气敏元件对二甲苯,氯苯和苯乙烯蒸汽的响应曲线第53-57页
   ·小结第57-59页
第五章 Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究第59-67页
   ·前言第59页
   ·实验部分第59-60页
     ·试剂和仪器第59-60页
     ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的制备第60页
   ·结果与讨论第60-66页
     ·Fe_20_3- In_2O_3复合薄膜的选择第60-62页
     ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的表征第62-63页
       ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的电子能谱图第62页
       ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的XRD 图第62-63页
     ·Fe_20_3- In_2O_3 复合薄膜的气敏性研究第63-66页
       ·气敏元件的吸光度变化第63-64页
       ·传感元件的气敏性第64-66页
   ·小结第66-67页
第六章La_20_3- In_2O_3 复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导的制备及其气敏性研究第67-78页
   ·前言第67页
   ·实验部分第67-68页
     ·试剂和仪器第67-68页
     ·La_20_3- In_2O_3 复合薄膜的制备第68页
   ·结果与讨论第68-76页
     ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的表征第68-70页
       ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的电子能谱图第68-69页
       ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的XRD 图第69-70页
     ·La_20_3- In_2O_3复合薄膜的气敏性研究第70-76页
       ·La_20_3-In_2O_3复合薄膜的选择第70页
       ·La_20_3-In_2O_3复合薄膜的吸光度变化第70-71页
       ·传感元件的气敏性第71-76页
   ·小结第76-78页
第七章 总结第78-82页
参考文献第82-91页
研究生期间发表论文第91-92页
致谢第92页

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