MOCVD气体混合系统的泄漏检测研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 符号对照表 | 第12-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-22页 |
| ·选题缘由和意义 | 第16-17页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第17-20页 |
| ·国外的研究情况 | 第17-18页 |
| ·国内的研究情况 | 第18-19页 |
| ·存在的主要问题 | 第19-20页 |
| ·论文的主要研究思路和研究方法 | 第20-22页 |
| ·研究思路 | 第20页 |
| ·研究方法 | 第20-22页 |
| 第二章 MOCVD的构成和反应原理 | 第22-26页 |
| ·MOCVD的组成 | 第22-23页 |
| ·MOCVD的反应原理 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 气体混合系统的组成和泄漏问题 | 第26-34页 |
| ·气体混合系统的组成 | 第26-29页 |
| ·系统构成 | 第26页 |
| ·有机金属源的蒸汽压控制 | 第26-29页 |
| ·气体混合系统的泄漏问题 | 第29-33页 |
| ·外部泄漏的发生及危害 | 第29-30页 |
| ·内部泄漏的发生及危害 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 控制系统的分析 | 第34-42页 |
| ·控制系统的硬件构成 | 第34-35页 |
| ·Aixact软件 | 第35-40页 |
| ·软件的组成和功能 | 第35-37页 |
| ·Aixact的程序开发功能 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第五章 泄漏的分析和处理 | 第42-54页 |
| ·外部泄漏的分析处理方法 | 第42-45页 |
| ·保压测试法 | 第42-44页 |
| ·氦气测漏法 | 第44-45页 |
| ·内部泄漏的分析处理方法 | 第45-52页 |
| ·内漏测试的思路 | 第45页 |
| ·2/2阀的内漏测试 | 第45-46页 |
| ·3/2阀的内漏测试 | 第46-48页 |
| ·4/2阀的内漏测试 | 第48-50页 |
| ·5/2阀的内漏测试 | 第50-52页 |
| ·对于4/2阀内漏测试的补充 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第六章 测漏软件的开发 | 第54-68页 |
| ·系统分析与设计 | 第54-55页 |
| ·系统实现 | 第55-62页 |
| ·初始化程序 | 第55-56页 |
| ·保压法和氦气测外漏程序 | 第56-58页 |
| ·2/2阀内漏测试程序 | 第58-59页 |
| ·3/2阀内漏测试程序 | 第59-60页 |
| ·4/2阀内漏测试程序 | 第60-62页 |
| ·5/2阀内漏测试程序 | 第62页 |
| ·系统测试 | 第62-66页 |
| ·分步测试 | 第63-65页 |
| ·联调测试 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第七章 结论和展望 | 第68-70页 |
| ·研究结论 | 第68-69页 |
| ·研究展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |
