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射频磁控溅射法制备CaWO4:Eu3+薄膜及其发光研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·钨酸钙材料概述第10-14页
     ·钨酸钙的结构与性质第10-11页
     ·掺杂稀土离子的钨酸钙荧光粉第11-12页
     ·掺杂稀土离子的钨酸钙薄膜第12-14页
 1. 2 CaWO_4:Eu~(3+)的基本理论与研究进展第14-16页
     ·CaWO_4:Eu~(3+)的能量传输与发光第14-15页
     ·Eu~(3+)离子的发光特性第15-16页
     ·CaWO_4:Eu~(3+)发光材料的研究现状第16页
 1. 3 本文的研究目标与内容第16-18页
     ·课题研究目标第16-17页
     ·课题研究内容第17-18页
第二章 实验方法和表征第18-27页
   ·实验材料第18页
   ·实验设备及原理第18-20页
   ·工艺流程与实验步骤第20-24页
     ·实验技术路线第20-21页
     ·靶材的制备第21-22页
     ·薄膜的制备过程第22-24页
     ·薄膜的热处理第24页
   ·薄膜的表征方法第24-27页
     ·X 射线衍射(XRD)第24页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第24-25页
     ·薄膜表面形貌分析第25页
     ·荧光光谱仪第25-27页
第三章 CaWO_4:Eu~(3+)陶瓷靶材的制备与性能表征第27-36页
   ·烧结温度和保温时间对陶瓷相对密度的影响第27-28页
   ·陶瓷的微结构及成分分析第28-32页
     ·XRD 分析第28-30页
     ·SEM 分析第30-31页
     ·微区成分分析第31-32页
   ·Ca_(0.64)WO_4:Eu_(0.24)陶瓷的发光性能第32-35页
     ·在 254 nm 光激发下的发光性能第32-34页
     ·蓝光 LED 激发下的发光性能第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 热处理对 CaWO_4:Eu~(3+)薄膜结构及发光性能的影响第36-43页
   ·CaWO_4:Eu~(3+)薄膜的热处理工艺第36-37页
   ·热处理对 CaWO_4:Eu~(3+)薄膜性能的影响第37-42页
     ·薄膜的 XRD 分析第37-38页
     ·表面形貌(SEM)第38-40页
     ·薄膜的光致发光性能第40-42页
   ·本章小结第42-43页
第五章 溅射参数对制备 CaWO_4:Eu~(3+)薄膜的影响第43-65页
   ·正交试验设计第43页
   ·正交实验分析第43-46页
   ·溅射气压对 CaWO_4:Eu~(3+)薄膜红光发射强度的影响第46-51页
     ·XDR 谱及分析第48-49页
     ·荧光光谱及分析第49-51页
   ·溅射时间对 CaWO_4:Eu~(3+)薄膜红光发射强度的影响第51-58页
     ·XRD 谱及分析第53-54页
     ·表面形貌(SEM)第54-56页
     ·荧光光谱及分析第56-58页
   ·不同掺杂浓度薄膜的性能表征第58-63页
     ·荧光光谱及分析第58-59页
     ·XRD 分析第59-60页
     ·表面形貌(SEM)第60-61页
     ·XPS 分析第61-63页
   ·Ca_(0.64)WO_4:Eu_(0.24)靶材及其薄膜的荧光光谱分析第63-64页
   ·本章小结第64-65页
第六章 结论与展望第65-67页
   ·总结第65-66页
   ·展望第66-67页
参考文献第67-70页
致谢第70-71页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第71-72页

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