| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 引言 | 第7-16页 |
| ·课题来源 | 第7-11页 |
| ·时代背景 | 第7-8页 |
| ·太阳能电池 | 第8-11页 |
| ·TCO 膜的研究发展 | 第11-15页 |
| ·透明导电膜与透明导电氧化物薄膜 | 第11页 |
| ·ZnO 薄膜 | 第11-14页 |
| ·氧化锌薄膜在太阳能电池上的应用 | 第14-15页 |
| ·本研究的目标和意义 | 第15-16页 |
| 第2章 磁控溅射ZnO 薄膜的制备与测试手段 | 第16-22页 |
| ·磁控溅射 | 第16-17页 |
| ·溅射镀膜的基本原理及特点 | 第16页 |
| ·实验装置 | 第16-17页 |
| ·溅射镀膜的优缺点及种类 | 第17页 |
| ·湿法刻蚀技术 | 第17-19页 |
| ·测试手段 | 第19-22页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第19-20页 |
| ·透射一反射谱 | 第20页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM ) | 第20-22页 |
| 第3章 磁控溅射参数对ZnO 薄膜结构及性能的影响 | 第22-38页 |
| ·样品的制备 | 第22-24页 |
| ·衬底的清洗 | 第22-23页 |
| ·实验操作流程 | 第23页 |
| ·实验系列样品制备 | 第23-24页 |
| ·实验结果与讨论 | 第24-37页 |
| ·偏压对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第24-27页 |
| ·溅射功率对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第27-29页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第29-31页 |
| ·薄膜厚度对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第31-33页 |
| ·溅射气压对ZnO 薄膜结构的影响 | 第33-35页 |
| ·退火温度对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第35-37页 |
| ·本章小节 | 第37-38页 |
| 第4章 衬底材料对ZnO 薄膜结构和性能的影响 | 第38-45页 |
| ·样品的制备 | 第38-39页 |
| ·衬底的清洗 | 第38页 |
| ·实验操作流程 | 第38页 |
| ·实验样品制备 | 第38-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-44页 |
| ·普通玻璃衬底对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·Si 衬底材料对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第40-42页 |
| ·SnO_2:F 膜衬底材料对 ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 绒面结构ZnO 薄膜的制备 | 第45-50页 |
| ·磁控溅射制备绒面结构ZnO 薄膜 | 第46-48页 |
| ·实验制备 | 第46页 |
| ·结果与分析 | 第46-48页 |
| ·酸刻方法制备绒面结构ZnO 薄膜 | 第48页 |
| ·两种绒面结构透光率的对比 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第6章 结论 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录 | 第56页 |
