| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·碳纳米管互连技术研究现状 | 第15-25页 |
| ·化学气相沉积互连 | 第15-17页 |
| ·高能束辐照互连 | 第17-20页 |
| ·超声波互连 | 第20-21页 |
| ·基于扫描探针显微镜的互连 | 第21-23页 |
| ·薄膜卷覆互连 | 第23页 |
| ·钎焊互连 | 第23-24页 |
| ·滴点沉积和化学沉积的互连 | 第24-25页 |
| ·碳纳米管互连技术存在的问题及课题基本思想 | 第25-26页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 激光复合AFM探针的近场研究 | 第28-52页 |
| ·激光复合AFM探针的近场理论基础 | 第28-31页 |
| ·近场增强理论 | 第28-29页 |
| ·激光复合AFM探针的近场数值解析 | 第29-31页 |
| ·光纤探针导光激光辐照AFM探针的近场研究 | 第31-47页 |
| ·光纤探针的增强近场 | 第32-37页 |
| ·聚焦激光辐照AFM探针的增强近场 | 第37-42页 |
| ·光纤探针导光激光辐照AFM探针的增强近场研究 | 第42-47页 |
| ·光纤探针导光激光辐照AFM探针的热场仿真 | 第47-51页 |
| ·光纤探针导光激光复合AFM探针的热场基础理论 | 第47-49页 |
| ·光纤探针导光激光复合AFM探针的热场仿真 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 热熔钎料互连碳纳米管的仿真分析 | 第52-87页 |
| ·钎料热熔互连仿真的数学模型 | 第52-54页 |
| ·银纳米粒子钎料熔化过程的仿真研究 | 第54-66页 |
| ·钎料热熔过程的仿真模型 | 第55-57页 |
| ·银块状材料熔化过程的仿真 | 第57-59页 |
| ·银纳米粒子钎料熔化过程的仿真 | 第59-65页 |
| ·银纳米粒子钎料熔化温度的尺寸效应 | 第65-66页 |
| ·碳纳米管钎料热熔互连的仿真研究 | 第66-86页 |
| ·轴向放置的碳纳米管钎料热熔互连过程的仿真 | 第67-74页 |
| ·轴向放置的碳纳米管钎料热熔互连过程的物理模型 | 第74-79页 |
| ·影响轴向放置的碳纳米管互连的主要因素 | 第79-81页 |
| ·T型及Y型结点的碳纳米管钎料热熔互连过程的仿真 | 第81-84页 |
| ·X型结点的碳纳米管钎料热熔互连过程的仿真 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第4章 钎料定点沉积及定位操作实验研究 | 第87-105页 |
| ·基于动态组合模式DPN的纳米钎料定点沉积 | 第87-98页 |
| ·动态组合模式DPN技术 | 第87-89页 |
| ·钎料制备及AFM探针修饰 | 第89-90页 |
| ·钎料定点沉积的实验研究 | 第90-95页 |
| ·钎料定量沉积的初步研究 | 第95-98页 |
| ·基于AFM向量扫描模式的纳米钎料定位操作 | 第98-103页 |
| ·向量扫描模式定位操作技术 | 第98-99页 |
| ·样品制备 | 第99-101页 |
| ·纳米钎料的定位操作 | 第101-102页 |
| ·碳纳米管的定位操作 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-105页 |
| 第5章 热熔钎料互连碳纳米管的实验研究 | 第105-131页 |
| ·光纤探针导光激光复合AFM探针的纳米互连系统 | 第105-111页 |
| ·激光复合AFM探针的温度测试 | 第111-122页 |
| ·基于力曲线及压痕测量的温度测试方法 | 第112-114页 |
| ·光纤探针导光激光复合AFM探针的温度测试 | 第114-120页 |
| ·空间聚焦激光复合AFM探针的温度测试 | 第120-122页 |
| ·光纤探针导光激光复合AFM探针热熔钎料互连实验 | 第122-130页 |
| ·基底整体加热纳米粒子钎料热熔 | 第122-124页 |
| ·纳米粒子钎料的光纤探针导光激光复合AFM探针热熔实验 | 第124-128页 |
| ·碳纳米管的光纤探针导光激光复合AFM探针热熔钎料互连实验 | 第128-130页 |
| ·本章小结 | 第130-131页 |
| 结论 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-143页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第143-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 个人简历 | 第147页 |