用于电阻阵列的复合薄膜材料电热学特性的研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·电阻阵 | 第11-12页 |
| ·研究需求 | 第12页 |
| ·薄膜密度测试 | 第12-13页 |
| ·薄膜电阻测试 | 第13-14页 |
| ·薄膜热传导系数、比热容测试 | 第14-18页 |
| ·热传导系数 | 第14-17页 |
| ·比热容 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 薄膜密度测试 | 第20-35页 |
| ·实验原理与仪器 | 第20-21页 |
| ·实验原理 | 第20页 |
| ·实验仪器 | 第20-21页 |
| ·测试方案制定 | 第21-25页 |
| ·总体设想 | 第21-22页 |
| ·二氧化硅样品密度实验 | 第22-24页 |
| ·光刻腐蚀实验 | 第24页 |
| ·方案制定 | 第24-25页 |
| ·样品制备 | 第25-27页 |
| ·样品参数 | 第25-26页 |
| ·样品制备工艺 | 第26-27页 |
| ·实验过程 | 第27-29页 |
| ·实验流程 | 第27页 |
| ·各类薄膜样品腐蚀工艺 | 第27-29页 |
| ·数据处理 | 第29-34页 |
| ·薄膜面积计算 | 第29-30页 |
| ·实验结果汇总 | 第30-32页 |
| ·计算结果 | 第32-33页 |
| ·结论与分析 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 四探针法测薄膜电阻率 | 第35-61页 |
| ·四探针法原理 | 第35-41页 |
| ·直线型四探针法 | 第35-37页 |
| ·范德堡法 | 第37-38页 |
| ·Rymaszewski 法 | 第38-40页 |
| ·参数修正 | 第40-41页 |
| ·实验仪器 | 第41-44页 |
| ·实验仪器构成 | 第41-43页 |
| ·改进方法 | 第43-44页 |
| ·样品制备 | 第44-47页 |
| ·多晶 Si 薄膜样品制备 | 第44-45页 |
| ·TiN 薄膜样品制备 | 第45-46页 |
| ·Pt 薄膜样品制备 | 第46-47页 |
| ·测试过程 | 第47-48页 |
| ·数据分析 | 第48-54页 |
| ·测量结果 | 第48-53页 |
| ·误差分析 | 第53-54页 |
| ·辅助实验 | 第54-59页 |
| ·Pt 及 TiN140 薄膜两探针电阻测试 | 第54-57页 |
| ·TiN 电阻实验 | 第57-59页 |
| ·测量方法的比较 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 薄膜热传导系数及比热容测试研究 | 第61-81页 |
| ·薄膜热传导系数测试原理 | 第61-65页 |
| ·热传导系数 | 第61页 |
| ·实验原理 | 第61-65页 |
| ·薄膜热容测试原理 | 第65-69页 |
| ·热容 | 第65-66页 |
| ·微桥量热器法实验原理 | 第66-69页 |
| ·结构设计 | 第69-72页 |
| ·长宽比 | 第69-71页 |
| ·薄膜层次 | 第71-72页 |
| ·测试过程 | 第72-74页 |
| ·薄膜热传导系数测试 | 第72-73页 |
| ·薄膜比热容测试 | 第73-74页 |
| ·工艺方案与流程 | 第74-80页 |
| ·工艺方案 | 第74-75页 |
| ·Pt 电阻制备工艺 | 第75页 |
| ·架桥工艺 | 第75-76页 |
| ·样品制备过程截面图 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第5章 总结与展望 | 第81-83页 |
| ·总结 | 第81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第88页 |
