| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·纳米敏感材料概述 | 第10-11页 |
| ·纳米材料简介 | 第10-11页 |
| ·纳米敏感材料 | 第11页 |
| ·纳米半导体气敏传感器概述 | 第11-13页 |
| ·半导体气敏材料 | 第11-12页 |
| ·半导体气敏传感器 | 第12-13页 |
| ·纳米ZnO气敏传感器 | 第13-17页 |
| ·ZnO简介 | 第13-14页 |
| ·纳米ZnO材料的制备 | 第14-15页 |
| ·纳米ZnO气敏传感器研究现状 | 第15-17页 |
| ·选题依据、研究意义及研究内容 | 第17-19页 |
| ·选题依据及研究意义 | 第17页 |
| ·研究内容 | 第17-19页 |
| 2 实验过程 | 第19-27页 |
| ·实验方案 | 第19页 |
| ·实验仪器及实验原料 | 第19-20页 |
| ·ZnO纳米线制备及表征 | 第20页 |
| ·纯ZnO纳米线的制备 | 第20页 |
| ·掺杂ZnO纳米线的制备 | 第20页 |
| ·ZnO纳米线的表征 | 第20页 |
| ·ZnO纳米线气敏元件测试 | 第20-26页 |
| ·气敏元件制备 | 第21页 |
| ·气敏测试设备 | 第21-23页 |
| ·气敏测试方法 | 第23-25页 |
| ·气敏元件的主要性能参数 | 第25-26页 |
| ·第一性原理计算 | 第26-27页 |
| 3 掺杂对ZnO纳米线形貌结构的影响 | 第27-43页 |
| ·纯ZnO纳米线的表征 | 第27-28页 |
| ·纯ZnO纳米线的SEM表征 | 第27页 |
| ·纯ZnO纳米线的XRD表征 | 第27-28页 |
| ·单元素掺杂对ZnO纳米线形貌结构的影响 | 第28-38页 |
| ·单元素掺杂ZnO纳米线SEM表征 | 第28-33页 |
| ·单元素掺杂ZnO纳米线XRD表征 | 第33页 |
| ·单元素掺杂ZnO纳米线TEM表征 | 第33-36页 |
| ·单元素掺杂ZnO纳米线PL谱 | 第36页 |
| ·单元素掺杂ZnO纳米线XPS谱图 | 第36-38页 |
| ·复合掺杂对ZnO纳米线形貌结构的影响 | 第38-42页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线的SEM表征 | 第38-40页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线的XRD表征 | 第40-41页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线的TEM表征 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 掺杂对ZnO纳米线气敏性能的影响 | 第43-63页 |
| ·掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第43-49页 |
| ·Ga掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第43-45页 |
| ·In掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第45-46页 |
| ·Sn掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第46-47页 |
| ·In、Sn共掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第47-48页 |
| ·Ga、In、Sn三掺杂ZnO纳米线对乙醇蒸气的气敏性能 | 第48-49页 |
| ·掺杂ZnO纳米线对CO气体的气敏性能 | 第49-53页 |
| ·Ga掺杂ZnO纳米线对CO气体的气敏性能 | 第49-50页 |
| ·In掺杂ZnO纳米线对CO气体的气敏性能 | 第50-51页 |
| ·Sn掺杂ZnO纳米线对CO气体的气敏性能 | 第51-52页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线对CO气体的气敏性能 | 第52-53页 |
| ·掺杂ZnO纳米线对NO_2气体的气敏性能 | 第53-58页 |
| ·Ga掺杂ZnO纳米线对NO_2气体的气敏性能 | 第53-54页 |
| ·In掺杂ZnO纳米线对NO_2气体的气敏性能 | 第54-55页 |
| ·Sn掺杂ZnO纳米线对NO_2气体的气敏性能 | 第55-56页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线对NO_2气体的气敏性能 | 第56-58页 |
| ·掺杂ZnO纳米线对SO_2气体的气敏性能 | 第58-62页 |
| ·Ga掺杂ZnO纳米线对SO_2气体的气敏性能 | 第58-59页 |
| ·In掺杂ZnO纳米线对SO_2气体的气敏性能 | 第59-60页 |
| ·Sn掺杂ZnO纳米线对SO_2气体的气敏性能 | 第60页 |
| ·复合掺杂ZnO纳米线对SO_2气体的气敏性能 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 ZnO电子结构计算 | 第63-68页 |
| ·计算参数设置 | 第63页 |
| ·纯ZnO态密度和能带结构 | 第63-64页 |
| ·掺杂ZnO态密度和能带结构 | 第64-65页 |
| ·Ga掺杂ZnO对CO气体的响应模型 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |