电弧离子镀nc-MeN/α-Cu纳米复合超硬薄膜研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·硬质薄膜及其发展历程 | 第10-11页 |
| ·硬质薄膜定义 | 第10页 |
| ·硬质薄膜发展历程 | 第10-11页 |
| ·超硬薄膜及其发展历程 | 第11-12页 |
| ·超硬薄膜定义 | 第11页 |
| ·超硬薄膜的发展历程 | 第11-12页 |
| ·纳米复合超硬薄膜 | 第12-15页 |
| ·纳米复合薄膜理论 | 第12-14页 |
| ·纳米复合薄膜的分类 | 第14页 |
| ·纳米复合薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·电弧离子镀技术 | 第15-17页 |
| ·论文工作的内容与意义 | 第17-19页 |
| 2 实验设备、样品制备与检测方法 | 第19-29页 |
| ·实验设备介绍 | 第19-21页 |
| ·基体材料的选择、样品预处理及制备 | 第21-23页 |
| ·基体材料选择 | 第21页 |
| ·样品预处理及性能 | 第21-23页 |
| ·薄膜制备方法 | 第23页 |
| ·薄膜检测方法 | 第23-29页 |
| ·扫描表面形貌分析 | 第23页 |
| ·电子探针成分测试 | 第23-24页 |
| ·薄膜厚度表征 | 第24页 |
| ·XRD相结构分析 | 第24-25页 |
| ·纳米压痕硬度测试 | 第25-26页 |
| ·膜基结合力测试 | 第26-27页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第27-29页 |
| 3 nc-TiN/α-Cu纳米复合薄膜研究 | 第29-39页 |
| ·nc-TiN/α-Cu纳米复合薄膜实验方法 | 第29-30页 |
| ·nc-TiN/α-Cu纳米复合薄膜表征与分析 | 第30-37页 |
| ·SEM表面形貌 | 第30-31页 |
| ·薄膜厚度表征 | 第31页 |
| ·电子探针成分测试 | 第31-32页 |
| ·XRD相结构分析 | 第32-33页 |
| ·纳米压痕硬度分析 | 第33-34页 |
| ·膜基结合力 | 第34-35页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第35-37页 |
| ·致硬机理探讨 | 第37-38页 |
| 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 nc-CrN/α-Cu纳米复合薄膜研究 | 第39-46页 |
| ·nc-CrN/α-Cu纳米复合薄膜实验方法 | 第39-40页 |
| ·nc-CrN/α-Cu纳米复合薄膜表征与分析 | 第40-44页 |
| ·SEM表面形貌 | 第40页 |
| ·电子探针成分测试 | 第40-41页 |
| ·薄膜厚度表征 | 第41页 |
| ·XRD相结构分析 | 第41-42页 |
| ·纳米压痕测试 | 第42-44页 |
| ·硬度探讨 | 第44页 |
| 本章小结 | 第44-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
