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SrTiO3基阻变存储器的制备和性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-11页
第一章 绪论第11-45页
   ·引言第11-12页
   ·新型非易失性存储器第12-19页
     ·铁电存储器第12-13页
     ·相变存储器第13-15页
     ·磁阻式存储器第15-16页
     ·阻变存储器第16-18页
     ·性能比较第18-19页
   ·RRAM研究进展第19-32页
     ·电阻开关效应分类第19-21页
     ·RRAM的单元结构第21-23页
     ·忆阻器的电路发展现状第23-26页
     ·电阻开关机制第26-32页
   ·本论文的选题及思路第32-34页
 参考文献第34-45页
第二章 Au/SrTiO_3/Ti存储器的电阻开关特性研究第45-61页
   ·前言第45-46页
   ·实验部分第46-48页
     ·金属Ti薄膜的制备第46页
     ·STO薄膜的制备第46-48页
   ·STO薄膜的表征与结果分析第48-50页
     ·X射线衍射结构分析第48-49页
     ·场发射扫描电镜分析第49-50页
   ·Au/STO/Ti存储单元的电阻开关特性第50-56页
     ·Au/STO/Ti存储单元的制备第50-51页
     ·Au/STO/Ti存储单元的电学特性第51-56页
   ·本章小结第56-58页
 参考文献第58-61页
第三章 Au/SrTiO_3/Pt存储器的电阻开关特性研究第61-77页
   ·前言第61-62页
   ·STO薄膜的制备第62页
   ·STO薄膜的表征与结果分析第62-66页
     ·X射线衍射结构分析第62-63页
     ·STO薄膜的表面形貌分析第63页
     ·X射线光电子能谱分析第63-66页
   ·Au/STO/Pt存储单元的电阻开关特性第66-73页
     ·Au/STO/Pt器件的制备第66页
     ·Au/STO/Pt器件的整流效应第66-67页
     ·Au/STO/Pt器件的电阻开关特性第67-72页
     ·Au/STO/Pt器件的非易失性研究第72-73页
   ·本章小结第73-74页
 参考文献第74-77页
第四章 Au/SrTiO_3/Pt单极忆阻器执行实质蕴涵逻辑运算第77-91页
   ·前言第77-79页
   ·Au/STO/Pt单极忆阻器的I-V特性第79-81页
   ·实质蕴涵逻辑运算第81-88页
     ·实质蕴涵逻辑电路第81-83页
     ·P和Q开关上压降的计算结果第83-85页
     ·Au/STO/Pt单极开关执行IMP逻辑第85-88页
   ·本章小结第88-89页
 参考文献第89-91页
第五章 Au/NiO/SrTiO_3/Pt存储器的电阻开关特性研究第91-119页
   ·前言第91-92页
   ·NiO/STO异质结的制备第92-93页
   ·NiO/STO异质结的表征与结果分析第93-95页
     ·X射线衍射结构分析第93-94页
     ·X射线能谱分析第94-95页
     ·场发射扫描电子显微镜图像分析第95页
   ·Au/NiO/STO/Pt存储器的电阻开关特性第95-113页
     ·Au/NiO/STO/Pt器件的制备第95-96页
     ·Au/NiO/STO/Pt器件的初态I-V特性第96-97页
     ·双极电阻开关特性和相应的电形成过程第97-106页
     ·Au/NiO/STO/Pt器件的单极电阻开关特性第106-113页
   ·本章小结第113-115页
 参考文献第115-119页
结论与展望第119-121页
攻读博士学位期间发表的文章第121-123页
致谢第123页

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