| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 插图目录 | 第12-15页 |
| 列表目录 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-36页 |
| ·等离子体加工技术概述 | 第16-17页 |
| ·微等离子体 | 第17-21页 |
| ·微等离子体的概念和特性 | 第17-18页 |
| ·微等离子体源的结构和产生方法 | 第18-19页 |
| ·微等离子体的应用 | 第19-21页 |
| ·基于微等离子体的无掩模材料刻蚀 | 第21-25页 |
| ·微结构电极放电 | 第22-23页 |
| ·微等离子体射流 | 第23-24页 |
| ·纳米喷流(NANOJET) | 第24-25页 |
| ·基于扫描探针显微镜(SPM)的高分辨率成像和加工 | 第25-32页 |
| ·基于SPM的高分辨率成像 | 第25-27页 |
| ·基于SPM的扫描探针加工技术 | 第27-28页 |
| ·基于并行探针阵列的纳米加工技术 | 第28-32页 |
| ·本论文的研究内容和意义 | 第32-34页 |
| ·论文的结构安排 | 第34-36页 |
| 第2章 集成微放电器的AFM探针及阵列的结构设计 | 第36-58页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·基于AFM的扫描等离子体刻蚀加工原理 | 第36-37页 |
| ·集成微放电器的PZT压电探针的结构设计和性能仿真 | 第37-45页 |
| ·结构设计 | 第37-39页 |
| ·结构参数优化 | 第39-43页 |
| ·压电探针的性能仿真 | 第43-45页 |
| ·集成微放电器的SiO_2悬臂梁探针的结构设计 | 第45-47页 |
| ·结构设计 | 第45-46页 |
| ·悬臂梁探针的力学特性 | 第46-47页 |
| ·集成微放电器多层结构悬臂梁探针的变形仿真 | 第47-54页 |
| ·薄膜内应力的产生 | 第47-49页 |
| ·薄膜内应力测量 | 第49-51页 |
| ·集成微放电器的多层复合悬臂梁的变形仿真 | 第51-54页 |
| ·集成微放电器的针尖阵列扫描刻蚀思想的提出和结构设计 | 第54-56页 |
| ·设计思想 | 第54-55页 |
| ·初步结构设计 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第3章 微等离子体导出机制和刻蚀性能仿真 | 第58-72页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·微等离子体从空心针尖纳米孔中的导出机制仿真 | 第58-66页 |
| ·数值模型 | 第58-60页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第60-66页 |
| ·微等离子体刻蚀性能仿真 | 第66-70页 |
| ·数值模型 | 第66-67页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第4章 扫描等离子体刻蚀系统关键器件的加工制作 | 第72-90页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·集成微放电器和针尖纳米孔的SiO_2悬臂梁探针的制作 | 第72-84页 |
| ·工艺流程设计 | 第72-74页 |
| ·关键工艺研究 | 第74-81页 |
| ·实验结果和讨论 | 第81-84页 |
| ·集成空心针尖的SiO_2悬臂梁探针阵列的制作 | 第84-86页 |
| ·加工工艺流程 | 第84-85页 |
| ·实验结果和讨论 | 第85-86页 |
| ·集成微放电器的空心针尖阵列的制作 | 第86-89页 |
| ·加工工艺流程 | 第86-87页 |
| ·实验结果及讨论 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 微等离子体放电特性的实验研究 | 第90-114页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·微等离子体电学和光谱测试系统 | 第90-92页 |
| ·绝缘击穿特性 | 第92-99页 |
| ·帕邢定律 | 第92-93页 |
| ·微放电器在Ar、SF_6和CHF_3中的帕邢曲线 | 第93-96页 |
| ·实验结果的分析和讨论 | 第96-99页 |
| ·Ⅴ-Ⅰ特性 | 第99-105页 |
| ·微放电器在纯Ar,SF_6和CHF_3中的Ⅴ-Ⅰ特性 | 第99-101页 |
| ·微放电器在SF_6/Ar和CHF_3/Ar混合气体中的Ⅴ-Ⅰ特性 | 第101-103页 |
| ·实验结果分析 | 第103-105页 |
| ·光学发射谱特性 | 第105-111页 |
| ·硅基材料的等离子体刻蚀机理 | 第105页 |
| ·等离子体光谱的产生机理 | 第105-106页 |
| ·微放电在Ar,SF_6和CHF_3中的光谱测试结果及分析 | 第106-111页 |
| ·本章小结 | 第111-114页 |
| 第6章 扫描刻蚀系统的设计及扫描成像实验 | 第114-126页 |
| ·系统总体设计 | 第114-119页 |
| ·真空系统 | 第115页 |
| ·三维扫描系统 | 第115-116页 |
| ·针尖样品逼近及间距控制方案 | 第116-119页 |
| ·等离子体导出装置 | 第119页 |
| ·基于AFM的扫描等离子体刻蚀加工和原位成像新方法 | 第119-120页 |
| ·集成微放电器的AFM探针的扫描成像实验 | 第120-124页 |
| ·实验装置 | 第120-121页 |
| ·力曲线和振幅曲线的测量 | 第121-123页 |
| ·扫描成像结果 | 第123-124页 |
| ·本章小结 | 第124-126页 |
| 第7章 总结和展望 | 第126-130页 |
| ·总结 | 第126-128页 |
| ·论文的主要工作和结论 | 第126-127页 |
| ·本论文的创新点 | 第127-128页 |
| ·展望 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-142页 |
| 在读期间发表的学术论文和申请的专利 | 第142-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
