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基于钝化多孔硅的光纤SO2传感技术研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
1 引言第8-24页
   ·环境中二氧化硫的来源及其危害第9-11页
     ·二氧化硫的来源第9-10页
     ·二氧化硫的危害第10-11页
   ·环境中二氧化硫监测技术研究现状第11-17页
     ·分光光度法第11-13页
     ·电学分析法第13-14页
     ·离子色谱法第14页
     ·光谱分析法第14-15页
     ·其他新型检测方法第15-17页
   ·多孔硅材料第17-21页
     ·多孔硅材料研究现状及应用第17-19页
     ·多孔硅的制备方法第19-20页
     ·多孔硅的钝化第20-21页
   ·光纤传感技术的研究现状第21-23页
     ·光纤传感器的工作原理第21页
     ·光纤传感器仪器结构第21页
     ·光纤传感技术的研究现状及发展方向第21-22页
     ·光纤传感器的应用第22-23页
     ·光纤气敏传感器第23页
   ·论文的研究内容及意义第23-24页
2 实验第24-33页
   ·多孔硅制备第24-26页
     ·仪器、试剂及材料第24页
     ·多孔硅形成机理第24-25页
     ·制备流程及装置图第25-26页
   ·多孔硅钝化第26-27页
     ·基本原理第26页
     ·钝化工艺及装置第26-27页
   ·钝化多孔硅的性质第27-28页
     ·光致发光第27页
     ·表面形貌及组成第27页
     ·孔隙率及膜厚第27-28页
   ·二氧化硫传感性能第28-33页
     ·传感实验装置第28-29页
     ·传感过程第29-30页
     ·传感性能评价第30-33页
3 结果与讨论第33-58页
   ·多孔硅发光机理第33-35页
   ·多孔硅制备条件对其发光性能的影响第35-38页
     ·电解液组成第35-36页
     ·电流密度第36-37页
     ·氧化时间第37-38页
   ·多孔硅钝化第38-46页
     ·钝化处理溶液组成及配比第38-39页
     ·钝化处理前后多孔硅发光比较第39-42页
     ·钝化处理前后多孔硅理化性质第42-46页
     ·多孔硅钝化前后孔隙率及膜厚的变化第46页
   ·钝化多孔硅对SO_2传感性能第46-58页
     ·定性分析第47页
     ·定量研究第47-49页
     ·选择性第49-50页
     ·响应时间第50-52页
     ·稳定性第52-54页
     ·可逆性第54-55页
     ·钝化多孔硅荧光猝灭动力学分析第55-56页
     ·检出限第56-58页
4 结论与展望第58-60页
   ·结论第58-59页
   ·展望第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-65页
附录第65页

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