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1.31μm GaInNAs激光器的设计与制作

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-16页
   ·引言第7-8页
   ·GaInNAs半导体激光器的发展第8-12页
   ·GaInNAs半导体激光材料的特性概述第12-14页
   ·GaInNAs材料的应用前景第14-15页
   ·本论文研究的主要工作第15-16页
第二章 1.31μmGaInNAs应变量子阱材料特性研究第16-37页
   ·量子阱半导体激光器的主要特性分析第16-25页
   ·应变对量子阱材料特性的影响第25-29页
   ·GaInNAs/GaAs应变量子阱材料的特性第29-37页
第三章 1.31μm应变量子阱GaInNAs激光器的结构设计第37-45页
   ·激光器芯片的材料结构第37-38页
   ·谐振腔结构设计第38-42页
   ·激光器的散热系统设计第42-43页
   ·激光器的完整装配结构第43-45页
第四章 1.31μm GaInNAs应变量子阱激光器的制作第45-55页
   ·GaInNAs应变量子阱材料的生长第45-48页
   ·脊形波导的制作第48-49页
   ·脉冲阳极氧化工艺制备绝缘膜第49-52页
   ·欧姆接触层的制备第52-53页
   ·装片与内引线键合第53-55页
第五章 1.31μm GaInNAs应变量子阱激光器的特性评价第55-59页
   ·GaInNAs应变单量子阱材料的特性测试第55-56页
   ·1.31μm GaInNAs应变单量子阱激光器的特性第56-58页
   ·脉冲阳极氧化对激光器芯片结构的影响第58-59页
第六章 结论第59-60页
致谢第60-62页
参考文献第62-64页

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