| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·紫外光电探测器介绍 | 第7-11页 |
| ·紫外光电探测器的种类 | 第7-8页 |
| ·用于紫外探测器的半导体材料 | 第8-11页 |
| ·纳米TiO_2 薄膜 | 第11-15页 |
| ·纳米TiO_2 薄膜的晶体结构 | 第11-13页 |
| ·纳米TiO_2 的性质 | 第13-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 TiO_2 薄膜材料的制备与表征 | 第16-28页 |
| ·TiO_2 的制备方法 | 第16-18页 |
| ·TiO_2 薄膜的制备及表征 | 第18-27页 |
| ·TiO_2 薄膜的制备 | 第18-22页 |
| ·TiO_2 薄膜的表征 | 第22-27页 |
| ·结论 | 第27-28页 |
| 第三章 金属—二氧化钛肖特基接触的研究 | 第28-48页 |
| ·金属-半导体接触的简单介绍 | 第28-35页 |
| ·肖特基接触 | 第28-34页 |
| ·欧姆接触 | 第34-35页 |
| ·器件结构 | 第35-36页 |
| ·器件的制作工艺 | 第36-42页 |
| ·测试与结果分析 | 第42-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| 第四章 MSM 结构紫外探测器的初步研究 | 第48-54页 |
| ·TiO_2 基肖特基紫外光探测器 | 第48-50页 |
| ·TiO_2 基肖特基紫外光探测器的工作原理 | 第48-49页 |
| ·TiO_2 基肖特基紫外光探测器的主要参数 | 第49-50页 |
| ·TiO_2 基MSM 结构紫外光探测器的主要特点 | 第50页 |
| ·TiO_2 基肖特基紫外光探测器结构 | 第50-51页 |
| ·TiO_2 基肖特基紫外光探测器光电测试 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第53-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 摘要 | 第61-64页 |
| Abstract | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第67页 |