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Copy Exactly模式在先进芯片制造行业中成功案例分析

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 “精确复制”简介第8-13页
   ·“精确复制”策略产生的背景及其作用第8-10页
   ·“精确复制”简介第10-12页
   ·论文的目标和内容第12-13页
第二章 “精确复制”中的统计学概念和序贯检验第13-30页
   ·统计学概念第13-21页
     ·取样层次第13-14页
     ·匹配检验第14-18页
     ·中央极限法则第18-20页
     ·设备匹配中的中央极限法则第20-21页
   ·序贯检验原理第21-30页
     ·序贯均值检验第22页
     ·序贯变化检验第22-23页
     ·置信区间(Confidence Interval)第23-24页
     ·进行序贯统计检验第24-30页
第三章 “精确复制”中的设备验收概览第30-41页
   ·设备验收流程第30-32页
   ·设备验收要素概要第32-41页
     ·定义和记录验收计划第32-33页
     ·总结参照设备历史数据的基准线第33-37页
     ·记录更新5M+E 的检查清单第37页
     ·验收计划的审阅和批准第37-38页
     ·按验收计划对设备进行验收第38-39页
     ·提交FWP(最终白皮书)第39-40页
     ·稳定性检验第40-41页
第四章 “精确复制”的内涵及其推广应用第41-49页
   ·从技术层面看“精确复制”的关键第41-42页
   ·“精确复制”实施的保证第42-49页
     ·组织文化的支持和管理层的承诺第42-44页
     ·相应的管理体系和资源投入第44-49页
第五章 总结和展望第49-51页
参考文献第51-52页
致谢第52-53页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文第53-55页

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