| 1 绪论 | 第1-14页 |
| 1．1 激光晶体材料的发展及应用 | 第10页 |
| 1．2 激光晶体材料的制备方法 | 第10-12页 |
| 1．3 自动直径控制技术及课题研究的意义 | 第12-14页 |
| 1．3．1 自动直径控制技术 | 第12-13页 |
| 1．3．2 本课题的主要研究内容的意义 | 第13-14页 |
| 2 上称重法自动直径控制原理 | 第14-22页 |
| 2．1 几种称重法自动直径控制方法的比较 | 第14-17页 |
| 2．1．1 下电子秤 | 第14-15页 |
| 2．1．2 浮秤 | 第15-16页 |
| 2．1．3 上称重 | 第16-17页 |
| 2．2 上称重法自动直径控制技术 | 第17-20页 |
| 2．2．1 引言 | 第17页 |
| 2．2．2 上称重法自动等径控制理论 | 第17-20页 |
| 2．3 小结 | 第20-22页 |
| 3 上称重法自动直径控制系统机械设计 | 第22-34页 |
| 3．1 激光晶体生长工艺特点 | 第22-23页 |
| 3．2 自动直径控制系统对上称重机械结构的要求 | 第23页 |
| 3．3 上称重系统机械结构方案设计 | 第23-28页 |
| 3．3．1 机械结构方案设计 | 第24-26页 |
| 3．3．2 悬臂梁式上称重系统机械结构设计 | 第26-28页 |
| 3．4 关键件的选型设计 | 第28-32页 |
| 3．4．1 系统组成及称重传感器的选择 | 第28-30页 |
| 3．4．2 晶转电机选型设计 | 第30-32页 |
| 3．5 小结 | 第32-34页 |
| 4 控制系统设计 | 第34-42页 |
| 4．1 上称重自动控制原理设计 | 第34-38页 |
| 4．1．1 控制原理 | 第34-35页 |
| 4．1．2 晶体生长速率自动控制调节系统 | 第35-36页 |
| 4．1．3 自适应智能PID算法 | 第36-37页 |
| 4．1．4 仿人模糊控制算法 | 第37-38页 |
| 4．2 控制系统组成及功能 | 第38-39页 |
| 4．2．1 系统组成 | 第38页 |
| 4．2．2 主要功能 | 第38-39页 |
| 4．3 直径控制器 | 第39-41页 |
| 4．3．1 直径控制器原理 | 第39-40页 |
| 4．3．2 直径控制器参数设置 | 第40-41页 |
| 4．4 小结 | 第41-42页 |
| 5 新开发的上称重法自动直径控制系统的应用 | 第42-56页 |
| 5．1 提拉法生长优质晶体必须满足的条件 | 第42页 |
| 5．2 TDL—J60S单晶炉主要技术指标及参数 | 第42-43页 |
| 5．3 设备机械部分总述 | 第43-45页 |
| 5．3．1 提拉系统及坩埚升降系统 | 第43-44页 |
| 5．3．2 真空及充气系统 | 第44-45页 |
| 5．3．3 上称重头的安装 | 第45页 |
| 5．4 设备电气控制系统简述 | 第45-47页 |
| 5．4．1 温度控制系统 | 第45-47页 |
| 5．4．2 速度控制系统 | 第47页 |
| 5．5 使用效果 | 第47-53页 |
| 5．5．1 系统标定 | 第47-51页 |
| 5．5．2 闭环控制，系统使用效果 | 第51-53页 |
| 5．6 影响上称重法自动直径控制的因素及其解决措施 | 第53-56页 |
| 6 结论 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录 | 第63页 |