| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·薄膜技术的发展及应用 | 第8页 |
| ·薄膜参数的测试方法 | 第8-11页 |
| ·国内外相关仪器系统研究 | 第11-14页 |
| ·研究的意义与本文的内容 | 第14-16页 |
| 第二章 反射光谱法的介绍 | 第16-26页 |
| ·反射光谱法的原理 | 第16-22页 |
| ·单层薄膜的反射特性 | 第16-18页 |
| ·双层薄膜的反射特性 | 第18-22页 |
| ·反射光谱法测量原理 | 第22页 |
| ·测量装置 | 第22-23页 |
| ·主要优点 | 第23-26页 |
| 第三章 极值法与复合形法求解薄膜常数和厚度的应用研究 | 第26-49页 |
| ·极值法求解单层光学薄膜常数和厚度 | 第26-29页 |
| ·极值法求解双层光学薄膜厚度 | 第29-32页 |
| ·复合形法求解薄膜的光学常数 | 第32-46页 |
| ·复合形法的数学思想描述 | 第32-36页 |
| ·极小化目标函数(评价函数)的建立 | 第36-37页 |
| ·约束条件的建立 | 第37-40页 |
| ·计算机的求解程序图及部分参数的选择 | 第40-42页 |
| ·计算结果与分析 | 第42-46页 |
| ·小结 | 第46页 |
| ·软件的人机交互界面 | 第46-49页 |
| 第四章 光学薄膜反射率测量系统的设计与测试结果 | 第49-69页 |
| ·系统的原理 | 第49-50页 |
| ·光源的选择 | 第50-53页 |
| ·光源的选择要求 | 第50页 |
| ·常用光源的介绍 | 第50-51页 |
| ·本系统选用光源的研究 | 第51-53页 |
| ·光纤和透镜的选择 | 第53-55页 |
| ·选择要求 | 第53页 |
| ·本系统需用的光纤与透镜的研究 | 第53-55页 |
| ·分光光度计的选择 | 第55-60页 |
| ·分光光度计选择要求 | 第55-56页 |
| ·常用分光光度计的介绍 | 第56-57页 |
| ·本实验所用的分光光度计的研究 | 第57-60页 |
| ·测试的结果 | 第60-65页 |
| ·本实验所用膜片的说明与标准测试 | 第60-62页 |
| ·应用本系统得到的测试结果 | 第62-64页 |
| ·测试结果分析 | 第64-65页 |
| ·反射率曲线的平滑处理方法 | 第65-69页 |
| 第五章 总结 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简历 | 第74页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第74页 |