HFCVD金刚石多晶膜的形貌、织构和孪晶的研究
| Abstract | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第6-23页 |
| ·金刚石的主要性质及其应用 | 第6-11页 |
| ·金刚石的性质 | 第6-9页 |
| ·金刚石的一些应用 | 第9-11页 |
| ·主要的CVD金刚石膜沉积方法及比较 | 第11-16页 |
| ·HFCVD | 第12-14页 |
| ·MWCVD | 第14-15页 |
| ·CFCVD | 第15-16页 |
| ·CVD金刚石薄膜的形核机理 | 第16-19页 |
| ·形核的实际意义 | 第16-17页 |
| ·提高形核的方法 | 第17-19页 |
| ·氢原子在金刚石生长过程中的作用 | 第19-20页 |
| ·本工作的目的和意义 | 第20页 |
| 参考文献: | 第20-23页 |
| 第二章 HFCVD金刚石的制备 | 第23-26页 |
| ·实验装置 | 第23-24页 |
| ·制备过程 | 第24-26页 |
| 第三章 HFCVD金刚石薄膜的形貌 | 第26-42页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·实验结果 | 第27-32页 |
| ·基体表面温度对薄膜形貌的影响 | 第27-29页 |
| ·气压对薄膜形貌的影响 | 第29-31页 |
| ·气相中微量氮元素对薄膜形貌的影响 | 第31-32页 |
| ·讨论 | 第32-39页 |
| ·金刚石的平衡形貌及其理想表面自由能 | 第32-35页 |
| ·CVD金刚石颗粒的生长形貌 | 第35-36页 |
| ·金刚石多晶膜的生长形貌与参数Γ | 第36-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 参考文献: | 第40-42页 |
| 第四章 金刚石薄膜的织构 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42-43页 |
| ·实验结果 | 第43-45页 |
| ·讨论 | 第45-50页 |
| ·随机形核金刚石多晶膜织构的形成机理 | 第45-47页 |
| ·织构与形貌的关系 | 第47-50页 |
| ·小结 | 第50页 |
| 参考文献: | 第50-52页 |
| 第五章 孪晶 | 第52-62页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·金刚石孪晶晶体学 | 第52-54页 |
| ·孪晶对薄膜<110>织构的可能影响 | 第54-58页 |
| ·嵌入型孪晶与<111>织构薄膜 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61页 |
| 参考文献: | 第61-62页 |
| 第六章 结论 | 第62页 |
