| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| ·课题背景 | 第15页 |
| ·薄膜及其的制备方法 | 第15-16页 |
| ·真空蒸发镀膜的原理及基本过程 | 第16-20页 |
| ·真空蒸发镀膜的概述 | 第16页 |
| ·真空蒸发镀膜的原理 | 第16页 |
| ·真空环境的必要性 | 第16页 |
| ·真空蒸发镀膜基本过程 | 第16-18页 |
| ·薄膜形成的过程 | 第18页 |
| ·蒸发的方法 | 第18-20页 |
| ·薄膜质量的影响因素 | 第20页 |
| ·金属膜的导电性质研究理论 | 第20-21页 |
| ·连续金属膜导电的一些特点 | 第21页 |
| ·金属薄膜的电阻率理论 | 第21页 |
| ·霍尔效应的原理及应用 | 第21-26页 |
| ·霍尔效应的发现与研究现状 | 第22页 |
| ·经典霍尔效应的原理 | 第22-24页 |
| ·霍尔效应的副效应 | 第24-25页 |
| ·霍尔效应的应用 | 第25页 |
| ·霍尔器件的发展和研究现状 | 第25-26页 |
| ·本课题的研究目的、意义及内容 | 第26-27页 |
| ·目的和意义 | 第26页 |
| ·本文的工作内容 | 第26-27页 |
| 第二章 实验及测试方法 | 第27-35页 |
| ·实验材料及仪器汇总 | 第27页 |
| ·真空蒸镀铝薄膜 | 第27-30页 |
| ·真空蒸镀仪器介绍 | 第27-28页 |
| ·蒸发源的选择 | 第28页 |
| ·准备阶段 | 第28-29页 |
| ·薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·测试方法 | 第30-33页 |
| ·膜厚测量 | 第30页 |
| ·电阻率的测量 | 第30-32页 |
| ·霍尔效应的测量实验装置的设计和实验操作 | 第32页 |
| ·透光率的测量 | 第32页 |
| ·表面形貌表征 | 第32-33页 |
| ·薄膜的退火 | 第33-35页 |
| 第三章 金属铝薄膜的电学性能及微观形貌 | 第35-43页 |
| ·不同厚度铝膜的宏观形貌 | 第35页 |
| ·铝膜的剖面形貌与不同厚度铝膜的表面形貌 | 第35-38页 |
| ·铝薄膜的剖面形貌 | 第35-36页 |
| ·不同厚度的铝膜的表面形貌 | 第36-38页 |
| ·厚度对铝薄膜电学性能的影响 | 第38-41页 |
| ·不同厚度铝膜电阻率的测量 | 第38-39页 |
| ·不同厚度薄膜的伏安特性曲线 | 第39-40页 |
| ·膜厚度对铝膜霍尔效应的影响 | 第40-41页 |
| 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 退火对铝膜表面形貌、电阻率及霍尔效应的影响 | 第43-53页 |
| ·退火前后的表面形貌观察与分析 | 第43-44页 |
| ·退火对铝膜电阻率的影响 | 第44-48页 |
| ·退火的温度对铝膜电阻率的影响 | 第44-46页 |
| ·退火时间对铝膜电阻率的影响 | 第46-48页 |
| ·退火温度和退火时间对铝膜霍尔效应的影响 | 第48-51页 |
| ·退火前后铝膜透光率变化 | 第51-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53页 |
| ·本论文的创新点 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 作者简介 | 第59页 |
| 导师简介 | 第59-60页 |
| 硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第60-61页 |