核壳结构微纳米金属粉体及其制备装置研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·核壳纳米复合材料 | 第10-11页 |
| ·核壳纳米复合材料的定义 | 第10页 |
| ·核壳纳米复合材料的特性 | 第10页 |
| ·核壳纳米复合材料在推进剂中的应用 | 第10-11页 |
| ·含硼固体推进剂 | 第11-12页 |
| ·含硼固体推进剂的特性 | 第11-12页 |
| ·硼做为固体推进剂燃料的难点 | 第12页 |
| ·真空镀膜技术 | 第12-16页 |
| ·气体分子运动论的基本概念 | 第12-13页 |
| ·气体的流动状态 | 第13-16页 |
| ·国内外微颗粒表面镀膜研究现状 | 第16-20页 |
| ·化学气相沉积 | 第16-17页 |
| ·物理气相沉积 | 第17-20页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 研究思路和技术路线 | 第21-25页 |
| ·核壳结构微纳米金属粉体制备技术 | 第21-22页 |
| ·研究思路 | 第21页 |
| ·技术路线 | 第21-22页 |
| ·微纳米颗粒磁控溅射镀膜设备的设计思路和总体方案 | 第22-25页 |
| ·设备设计指导思想 | 第23页 |
| ·设备设计方案 | 第23页 |
| ·设备性能指标要求 | 第23-25页 |
| 3 微纳米颗粒磁控溅射镀膜设备的真空系统结构设计 | 第25-41页 |
| ·真空室设计 | 第25-30页 |
| ·真空室材料的选用 | 第25页 |
| ·圆筒形真空室壁厚设计计算 | 第25-27页 |
| ·真空镀膜室门及手套结构设计 | 第27-30页 |
| ·真空获得系统设计 | 第30-32页 |
| ·核颗粒分散系统设计 | 第32-37页 |
| ·滚筒式样品台设计 | 第32-34页 |
| ·振动筛结构设计 | 第34-35页 |
| ·机械振动机构 | 第35-37页 |
| ·超声振动机构 | 第37页 |
| ·复合粉料收集装置设计 | 第37-38页 |
| ·气路系统设计 | 第38-40页 |
| ·充布气系统的设计原则 | 第38-39页 |
| ·充布气系统结构 | 第39页 |
| ·充气控制方式选择 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 磁控溅射靶和电源系统设计 | 第41-53页 |
| ·磁控溅射靶的设计 | 第41-47页 |
| ·磁控溅射靶头的设计 | 第41-43页 |
| ·磁控溅射靶水冷系统的设计与计算 | 第43-45页 |
| ·磁控溅射靶的实际结构 | 第45-47页 |
| ·磁控溅射靶挡板机构设计 | 第47页 |
| ·磁控溅射靶的布局 | 第47-48页 |
| ·加热系统 | 第48-50页 |
| ·加热方式及其装置 | 第48-50页 |
| ·测温方式与装置 | 第50页 |
| ·电源系统 | 第50-51页 |
| ·磁控溅射镀膜电源 | 第50-51页 |
| ·本设备的电源系统 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 5 设备的总装与调试 | 第53-57页 |
| ·设备的总装 | 第53页 |
| ·设备的安装要求 | 第53页 |
| ·设备内部图 | 第53页 |
| ·设备实际达到的性能指标 | 第53-57页 |
| ·设备的系统组成 | 第53-54页 |
| ·实际达到的技术指标 | 第54-57页 |
| 6 核壳结构微纳米金属粉体材料制备与表征 | 第57-64页 |
| ·核壳结构微纳米金属粉体材料制备 | 第57-59页 |
| ·实验用材料 | 第57页 |
| ·工艺参数的选择 | 第57-58页 |
| ·实验步骤 | 第58-59页 |
| ·纳米铝包覆微纳米硼金属粉体的表征 | 第59-62页 |
| ·表面形貌 | 第59-61页 |
| ·化学组成 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 7 结论与展望 | 第64-65页 |
| ·结论 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
