Ti6Al4V表面CrAlN膜的制备与表征
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-22页 |
| ·钛合金的性能及应用 | 第8-9页 |
| ·常用钛合金表面处理技术 | 第9-13页 |
| ·气相沉积 | 第9-10页 |
| ·等离子喷涂 | 第10-11页 |
| ·微弧氧化 | 第11-12页 |
| ·等离子渗氮 | 第12-13页 |
| ·电泳沉积 | 第13页 |
| ·电火花沉积 | 第13页 |
| ·磁控溅射技术的发展 | 第13-16页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能测试 | 第16-19页 |
| ·材料的摩擦磨损理论简述 | 第16-19页 |
| ·磁控溅射镀硬质陶瓷薄膜研究进展 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射镀硬质陶瓷薄膜分类 | 第19-20页 |
| ·CrAlN 薄膜的研究进展 | 第20页 |
| ·课题研究的目的、意义及主要内容 | 第20-22页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第20页 |
| ·主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第22-31页 |
| ·试验材料及试样前处理 | 第22页 |
| ·试验用基体材料 | 第22页 |
| ·试样前处理 | 第22页 |
| ·薄膜设计及制备 | 第22-27页 |
| ·试验设备 | 第22-24页 |
| ·薄膜设计 | 第24-25页 |
| ·薄膜的制备 | 第25-27页 |
| ·薄膜组织结构表征及本征性能测试 | 第27-31页 |
| ·薄膜组织结构表征 | 第27页 |
| ·薄膜本征性能测试 | 第27-29页 |
| ·薄膜摩擦磨损性能测试 | 第29-31页 |
| 第3章 薄膜的表征及本征性能测试 | 第31-47页 |
| ·薄膜的表征 | 第31-40页 |
| ·薄膜的成分分析 | 第31-34页 |
| ·薄膜的相结构分析 | 第34-36页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第36-40页 |
| ·薄膜的本征性能测试 | 第40-45页 |
| ·薄膜的厚度测试 | 第40-42页 |
| ·薄膜硬度及弹性模量测试 | 第42-44页 |
| ·薄膜结合强度测试 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 薄膜的摩擦磨损性能研究 | 第47-54页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能测试 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
