| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·选题的意义 | 第12-14页 |
| ·DLC薄膜的种类 | 第14页 |
| ·DLC薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·DLC薄膜的性能和应用 | 第17-20页 |
| ·DLC薄膜存在的问题 | 第20-23页 |
| ·DLC薄膜的研究进展 | 第23-26页 |
| ·本课题研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验方法及原理 | 第28-40页 |
| ·磁控溅射离子镀和等离子体增强化学气相沉积设备和原理 | 第28-34页 |
| ·磁控溅射离子镀原理与设备 | 第28-31页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)原理 | 第31-34页 |
| ·基体的选择及预处理 | 第34-35页 |
| ·掺杂DLC薄膜的沉积工艺 | 第35-36页 |
| ·分析测试方法及原理 | 第36-40页 |
| ·金相显微分析 | 第36-37页 |
| ·显微硬度 | 第37页 |
| ·热分析 | 第37页 |
| ·旋转摩擦 | 第37-38页 |
| ·X射线衍射分析 | 第38页 |
| ·电子探针 | 第38页 |
| ·透射电镜 | 第38-40页 |
| 第三章 DLC薄膜的力学性能和热稳定性 | 第40-56页 |
| ·DLC薄膜的金相照片 | 第40-42页 |
| ·DLC薄膜的显微硬度 | 第42-44页 |
| ·DLC薄膜的摩擦磨损性能 | 第44-49页 |
| ·掺杂DLC薄膜的热稳定性分析 | 第49-54页 |
| ·高速钢基体的热分析曲线 | 第50页 |
| ·DLC掺Mo的热分析曲线 | 第50-51页 |
| ·DLC掺Si的热分析曲线 | 第51-52页 |
| ·DLC掺Si和Mo的热分析曲线 | 第52-53页 |
| ·分析讨论 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 掺杂DLC薄膜的结构 | 第56-74页 |
| ·DLC膜掺杂后的X射线衍射及其分析 | 第56-59页 |
| ·高速钢基体的衍射 | 第56页 |
| ·DLC掺Mo的X射线衍射 | 第56-58页 |
| ·DLC掺Si的X射线衍射 | 第58页 |
| ·DLC掺Si和Mo的X射线衍射 | 第58-59页 |
| ·掺杂DLC的电子探针分析 | 第59-64页 |
| ·DLC掺Mo的电子探针分析 | 第59-60页 |
| ·DLC掺Si的电子探针分析 | 第60-61页 |
| ·DLC掺Si和Mo的电子探针分析 | 第61-62页 |
| ·DLC掺Mo的元素面分布 | 第62-64页 |
| ·掺杂DLC薄膜的透射电镜分析 | 第64-70页 |
| ·DLC掺Mo的透射电镜观察 | 第64页 |
| ·DLC掺Si的透射电镜观察 | 第64-67页 |
| ·DLC掺Si和Mo的透射电镜观察 | 第67-70页 |
| ·掺杂DLC薄膜的生长机理 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第83页 |