热阴极离子镀制备CrNx薄膜及抗氧化性能研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-10页
1 前言	第10-30页
·课题背景	第10-11页
·表面工程技术	第11-13页
·薄膜技术概述	第13-15页
·气相沉积技术制备硬质薄膜	第15-23页
·离子镀技术、设备及应用	第23-26页
·课题来源及氮化铬硬质薄膜的研究进展	第26-28页
·本研究的内容、意义及技术路线	第28-30页
2 实验方法及设备	第30-38页
·热阴极离子镀设备	第30-32页
·实验材料及基体的预处理	第32-33页
·CrNx硬质薄膜的制备	第33-34页
·CrNx硬质薄膜氧化实验	第34页
·物相、成分及化合价态分析	第34-35页
·断口形貌分析	第35-36页
·抗氧化性能的测定	第36-38页
3 CrNx薄膜物相、成分及化合价态分析	第38-66页
·CrNx薄膜物相及XRD图谱分析	第38-46页
·CrNx薄膜化合价态、成分分析	第46-62页
·CrNx薄膜断口形貌分析	第62-66页
4 CrNx薄膜抗氧化性能及结果分析	第66-74页
·CrNx薄膜与基体结合力分析	第66-69页
·CrNx薄膜显微硬度分析	第69-70页
·CrNx薄膜氧化增重速率的测定及氧化机理分析	第70-74页
结论	第74-75页
参考文献	第75-79页
攻读学位期间发表的学术论文	第79-81页
致谢	第81-82页