| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·微纳米技术的研究发展现状 | 第14-16页 |
| ·微纳结构及器件的制备技术概述 | 第16-18页 |
| ·本文的研究目的及意义 | 第18-19页 |
| ·本文的主要研究内容及成果 | 第19-23页 |
| 第二章 微纳结构的光学微加工技术及工作原理 | 第23-35页 |
| ·极紫外光刻 | 第23-24页 |
| ·LIGA微纳结构制备技术 | 第24-26页 |
| ·准分子激光微加工 | 第26-27页 |
| ·飞秒激光微加工 | 第27-33页 |
| ·飞秒激光刻蚀 | 第28-30页 |
| ·双光子聚合技术 | 第30-33页 |
| ·微纳结构的其他光学制备方法 | 第33-35页 |
| 第三章 激光光致热塑成型机制及理论研究 | 第35-58页 |
| ·光热效应及温度分布模型 | 第35-44页 |
| ·激光在材料表面引起的光热效应 | 第36-41页 |
| ·温度分布二维模型 | 第41-44页 |
| ·激光光致热塑成型的微观机制 | 第44-50页 |
| ·光热效应引起的相变过程分析 | 第45-46页 |
| ·熔体内部环流及材料的重新分布 | 第46-49页 |
| ·表面张力作用对热塑成型的影响 | 第49-50页 |
| ·热塑成型的熔体环流变化 | 第50-54页 |
| ·熔体环流的熔化上升规律 | 第51-52页 |
| ·熔体环流的凝固过程分析 | 第52-54页 |
| ·三维微结构成型过程的动态平衡 | 第54-58页 |
| ·动态平衡的建立 | 第54-56页 |
| ·动态平衡的影响因素 | 第56-58页 |
| 第四章 基于激光光致热塑成型的微结构制备新方法研究 | 第58-69页 |
| ·激光光致热塑成型的原理 | 第58-60页 |
| ·微结构热塑成型的总体方案 | 第60-61页 |
| ·光致热塑成型的规律及影响因素研究 | 第61-66页 |
| ·微结构热塑成型适用材料的选择 | 第61-64页 |
| ·光致热塑成型过程的冷却问题及温度控制 | 第64-65页 |
| ·光致热塑成型时间对微结构形貌的影响 | 第65-66页 |
| ·三维微结构制备的扫描控制方法 | 第66-69页 |
| 第五章 三维微结构的光致热塑成型系统研制 | 第69-84页 |
| ·系统的总体设计 | 第69-71页 |
| ·激光光路设计 | 第71-75页 |
| ·光源及其控制系统 | 第71-74页 |
| ·光路及激光聚焦系统 | 第74-75页 |
| ·光致热塑成型的CCD显微监控系统 | 第75-78页 |
| ·显微成像光路与照明光路 | 第76页 |
| ·CCD摄像单元与图像采集接口 | 第76-78页 |
| ·样品承载与二维步进扫描微动单元 | 第78-80页 |
| ·样品承载容器及温度控制系统 | 第78-79页 |
| ·实现样品二维扫描的步进微动单元 | 第79-80页 |
| ·微结构制备系统的计算机软硬件 | 第80-84页 |
| ·系统的控制接口 | 第80-81页 |
| ·微结构制备的软件系统研发 | 第81-84页 |
| 第六章 基于光致热塑成型的三维微结构制备实验研究 | 第84-118页 |
| ·三维微结构制备的参数优化研究 | 第84-99页 |
| ·液体环境对三维微结构成型的影响 | 第85-87页 |
| ·基于不同光源的微结构制备 | 第87-92页 |
| ·不同材料的微结构制备 | 第92-95页 |
| ·不同激光照射时间的微结构制备 | 第95-99页 |
| ·柱型微结构的制备研究 | 第99-105页 |
| ·大高宽比柱型微结构制备 | 第101-103页 |
| ·小直径柱型微结构成型 | 第103-105页 |
| ·阵列微结构的制备研究 | 第105-110页 |
| ·点阵微结构的制备 | 第105-108页 |
| ·柱阵微结构的制备 | 第108-110页 |
| ·线型微结构的制备研究 | 第110-114页 |
| ·复杂微结构的制备成型 | 第114-118页 |
| 第七章 总结与展望 | 第118-121页 |
| ·总结 | 第118-120页 |
| ·展望 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-130页 |
| 附录A 博士在读期间发表论文情况 | 第130-131页 |
| 附录B 博士在读期间参与项目研究情况 | 第131-132页 |
| 作者简历 | 第132页 |