星载硅微静电加速度计的设计与噪声分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 综述 | 第9-17页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·国外研究现状 | 第10-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题研究任务与目标 | 第14-15页 |
| ·研究任务 | 第14-15页 |
| ·研究目标 | 第15页 |
| ·论文结构 | 第15-17页 |
| 第2章 加速度计结构建模与分析 | 第17-38页 |
| ·电容模型 | 第17-25页 |
| ·轴向平动电容模型 | 第17-19页 |
| ·径向平动电容模型 | 第19-20页 |
| ·轴向转动电容模型 | 第20-23页 |
| ·径向转动电容模型 | 第23-25页 |
| ·静电力/力矩模型 | 第25-33页 |
| ·轴向静电力模型 | 第26-27页 |
| ·径向静电力模型 | 第27-28页 |
| ·轴向静电转矩模型 | 第28-32页 |
| ·径向静电转矩模型 | 第32-33页 |
| ·检验质量六自由度运动的压膜阻尼系数分析 | 第33-37页 |
| ·轴向平动的Fluent 仿真 | 第34页 |
| ·径向平动的Fluent 仿真 | 第34-35页 |
| ·轴向转动的Fluent 仿真 | 第35-36页 |
| ·径向转动的Fluent 仿真 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 六自由度力/力矩平衡回路设计 | 第38-59页 |
| ·力/力矩平衡回路模型 | 第38-47页 |
| ·力/力矩平衡回路检验质量动力学模型 | 第39页 |
| ·力/力矩平衡回路分析 | 第39-41页 |
| ·坐标变换 | 第41-45页 |
| ·控制对象参数 | 第45-47页 |
| ·力/力矩平衡回路的硬件实现 | 第47-48页 |
| ·地面环境的静电力/力矩平衡回路设计 | 第48-56页 |
| ·轴向平动力平衡回路设计 | 第48-51页 |
| ·径向平动力平衡回路设计 | 第51-53页 |
| ·轴向转动力矩平衡回路设计 | 第53-55页 |
| ·径向转动力矩平衡回路设计 | 第55-56页 |
| ·空间加速度计的力/力矩平衡回路设计 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 加速度噪声分析 | 第59-82页 |
| ·空间环境引入噪声分析 | 第59-65页 |
| ·电磁相关的加速度噪声 | 第59-61页 |
| ·温度相关的加速度噪声 | 第61-63页 |
| ·碰撞相关的加速度噪声 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| ·敏感结构引入噪声分析 | 第65-68页 |
| ·电势不平衡起伏的加速度噪声 | 第66页 |
| ·电荷起伏的加速度噪声 | 第66-67页 |
| ·介电耗散 | 第67页 |
| ·数字化噪声 | 第67-68页 |
| ·小结 | 第68页 |
| ·位移检测电路噪声分析 | 第68-81页 |
| ·电路器件噪声分析 | 第68-71页 |
| ·变压器检测电路等效 | 第71-74页 |
| ·电荷放大器噪声分析 | 第74-75页 |
| ·交流放大电路噪声分析 | 第75-76页 |
| ·模拟乘法器噪声分析 | 第76-77页 |
| ·低通滤波电路噪声分析 | 第77-79页 |
| ·位移检测电路噪声分析 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第5章 低噪声位移检测电路的设计与实验 | 第82-104页 |
| ·微位移电容检测电路设计 | 第82-86页 |
| ·放大电路设计 | 第82-85页 |
| ·解调电路设计 | 第85页 |
| ·低通滤波电路设计 | 第85-86页 |
| ·不同方案低噪声检测电路调试 | 第86-96页 |
| ·高频电荷放大器方案 | 第86-88页 |
| ·低频电荷放大器方案 | 第88-91页 |
| ·高频仪器放大器方案 | 第91-93页 |
| ·低频仪器放大器方案 | 第93-95页 |
| ·低通滤波电路调试 | 第95-96页 |
| ·不同方案低噪声检测电路性能分析 | 第96-103页 |
| ·电路噪声水平比较 | 第96-101页 |
| ·稳定性分析 | 第101-102页 |
| ·对分布电容的抑制能力 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第6章 总结与展望 | 第104-107页 |
| ·论文工作总结 | 第104-106页 |
| ·对今后研究工作的建议 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第111页 |
