| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-20页 |
| ·BST 的研究背景 | 第10-13页 |
| ·BST 薄膜的研究现状 | 第13-17页 |
| ·BST 薄膜的掺杂改性研究 | 第13-15页 |
| ·BST 薄膜的缓冲层研究 | 第15-16页 |
| ·BST 薄膜的多层结构研究 | 第16-17页 |
| ·BST 目前面临的主要问题 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究内容及意义 | 第18-20页 |
| 第2章 溶胶-凝胶法制备的Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的结构和物性研究 | 第20-37页 |
| ·Pt/BST/Pt/TiO_2/SiO_2/Si 异质结的制备 | 第20-22页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 | 第20-21页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)法 | 第21页 |
| ·磁控溅射(magnetron sputtering)法 | 第21-22页 |
| ·实验过程 | 第22-24页 |
| ·Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 前驱体溶液的制备 | 第22页 |
| ·Pt/TiO_2/SiO_2/Si (001)基片的预处理 | 第22-23页 |
| ·Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 薄膜的制备 | 第23页 |
| ·Pt/BST/Pt 电容器的制备 | 第23-24页 |
| ·样品的表征方法 | 第24-27页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第24-25页 |
| ·扫面电子显微镜(SEM) | 第25页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第25-27页 |
| ·铁电测试仪 | 第27页 |
| ·实验结果与讨论 | 第27-35页 |
| ·BST 薄膜的微观结构分析 | 第27-30页 |
| ·Pt/BST/Pt 电容器的铁电性能分析 | 第30页 |
| ·Pt/BST/Pt 电容器的介电性能分析 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 非晶Ni-Al 阻挡层对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的结构和物性影响的研究 | 第37-45页 |
| ·实验过程 | 第37-38页 |
| ·样品制备 | 第37-38页 |
| ·结构与性能测试 | 第38页 |
| ·实验结果与讨论 | 第38-44页 |
| ·BST 薄膜的微观结构分析 | 第38-41页 |
| ·Pt/Ni-Al/BST/Ni-Al/Pt 电容器的铁电性能分析 | 第41页 |
| ·Pt/Ni-Al/BST/Ni-Al/Pt 电容器的介电性能分析 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 Si 基外延Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的探索 | 第45-52页 |
| ·实验过程 | 第45-46页 |
| ·样品制备 | 第45-46页 |
| ·结构与性能测试 | 第46页 |
| ·实验结果与讨论 | 第46-51页 |
| ·BST 薄膜的结构分析 | 第46-47页 |
| ·Pt/BST/Pt 电容器的铁电性能分析 | 第47-48页 |
| ·Pt/BST/Pt 电容器的介电性能分析 | 第48-50页 |
| ·CeO_2 薄膜的结构分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结束语 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第59页 |
