| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-26页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·集成化密集波分复用器 | 第13-15页 |
| ·集成化波长可调谐/切换激光器 | 第15-19页 |
| ·波长可调谐激光器发展现状 | 第15-16页 |
| ·单电极无跳模波长可调谐激光器 | 第16-19页 |
| ·用于光纤到户的集成化单纤双向/三向收发器件 | 第19-23页 |
| ·光纤到户发展情况 | 第19-20页 |
| ·无源光网络 | 第20-21页 |
| ·用于光纤到户的单纤双/三向收发器 | 第21-23页 |
| ·本论文的章节安排 | 第23页 |
| ·本论文主要创新点 | 第23-26页 |
| 2 InP基单片集成光通道监测器 | 第26-46页 |
| ·阶梯光栅解复用器的基本理论 | 第26-32页 |
| ·阶梯光栅的相差理论 | 第26-28页 |
| ·阶梯光栅设计的一点法和两点法 | 第28-30页 |
| ·阶梯光栅的数值模拟方法 | 第30-32页 |
| ·集成平板波导探测器和阶梯光栅解复用器的光通道监测器 | 第32-46页 |
| ·密集波分复用系统中的光通道监测器件 | 第32-34页 |
| ·基于阶梯光栅解复用器和平板波导探测器的0CM器件 | 第34-46页 |
| 3 集成化波长可调谐/切换激光器 | 第46-66页 |
| ·波长可调谐/切换激光器 | 第46-50页 |
| ·可调谐激光器的发展现状 | 第46-47页 |
| ·V型可调谐激光器 | 第47-50页 |
| ·基于无源环耦合结构的单电极无跳模激光器 | 第50-61页 |
| ·单电极无跳模激光器的研究现状 | 第50-53页 |
| ·基于无源环耦合结构的单电极无跳模激光器 | 第53-61页 |
| ·半波无源环耦合激光器 | 第61-66页 |
| ·利用半波耦合器耦合的无源环耦合激光器的基本原理 | 第61-66页 |
| 4 用于光纤到户的集成化单纤双向/三向收发器 | 第66-82页 |
| ·研究背景 | 第66-69页 |
| ·第三代单纤双向收发器研究现状 | 第69-71页 |
| ·BinOptics公司的技术方案 | 第69页 |
| ·OneChip公司的技术方案 | 第69-70页 |
| ·In-line的单纤双向收发器 | 第70-71页 |
| ·基于环形激光器和阶梯光栅解复用器的单纤双向/三向收发器 | 第71-82页 |
| ·单纤双向/三向收发器的基本构架 | 第71-72页 |
| ·2X2耦合器的设计 | 第72-80页 |
| ·下行信号复用的阶梯光栅设计 | 第80-82页 |
| 5 制作工艺研究 | 第82-120页 |
| ·V型耦合腔激光器的基本结构 | 第82-86页 |
| ·外延片结构示意图 | 第82-83页 |
| ·V型腔激光器的波导结构 | 第83-84页 |
| ·V型腔激光器设计制作方案 | 第84-86页 |
| ·V型耦合腔激光器制作工艺流程 | 第86-93页 |
| ·利用解理面做反射面的V型腔激光器工艺流程 | 第86-90页 |
| ·引入刻蚀面做反射面的V型腔激光器工艺流程 | 第90-93页 |
| ·半导体激光器制作的工艺研究 | 第93-120页 |
| ·光刻 | 第93-98页 |
| ·刻蚀工艺 | 第98-108页 |
| ·平坦化工艺 | 第108-111页 |
| ·金属剥离 | 第111-112页 |
| ·研磨和抛光 | 第112-113页 |
| ·激光器性能测试 | 第113-120页 |
| 总结与展望 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-127页 |
| 作者简介 | 第127页 |
