飞秒激光内加工微空腔结构的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 飞秒激光技术的发展及应用 | 第10-15页 |
| 1.1.1 飞秒激光技术的发展 | 第10-13页 |
| 1.1.2 飞秒激光技术的应用 | 第13-15页 |
| 1.2 飞秒激光内加工技术国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 飞秒激光内加工液体辅助法 | 第16-20页 |
| 1.2.2 飞秒激光直写制备法 | 第20-22页 |
| 1.3 论文研究意义 | 第22页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 飞秒激光内加工透明电介质材料的机理 | 第24-34页 |
| 2.1 飞秒激光烧蚀透明材料的电离过程 | 第24-28页 |
| 2.1.1 非线性光电离 | 第24-26页 |
| 2.1.2 雪崩电离 | 第26-27页 |
| 2.1.3 等离子体的自由载流子吸收 | 第27-28页 |
| 2.2 飞秒激光烧蚀透明材料的物理模型 | 第28-31页 |
| 2.3 飞秒激光加工特性 | 第31-34页 |
| 2.3.1 加工非热熔性 | 第31页 |
| 2.3.2 加工精度高 | 第31-32页 |
| 2.3.3 加工材料广泛 | 第32-34页 |
| 第3章 飞秒激光加工透明电介质材料的温度场模拟 | 第34-44页 |
| 3.1 飞秒激光辐照材料的温度场研究 | 第34-36页 |
| 3.2 不同重复频率飞秒激光的加工机制研究 | 第36-41页 |
| 3.3 不同重复频率飞秒激光的加工阈值研究 | 第41页 |
| 3.4 不同重复频率飞秒激光加工效率的提高 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小节 | 第42-44页 |
| 第4章 飞秒激光内加工聚合物材料的实验研究 | 第44-66页 |
| 4.1 实验材料的选择及其特性 | 第44-45页 |
| 4.2 激光微加工设备与仪器 | 第45-48页 |
| 4.3 实验方案设计 | 第48-49页 |
| 4.4 飞秒激光内加工微通道的实验研究 | 第49-61页 |
| 4.4.1 激光加工功率对通道效果的影响 | 第49-52页 |
| 4.4.2 激光加工速度对通道效果的影响 | 第52-55页 |
| 4.4.3 激光加工深度对通道效果的影响 | 第55-58页 |
| 4.4.4 激光扫描次数对通道效果的影响 | 第58-61页 |
| 4.5 三维微流体通道的制备 | 第61-63页 |
| 4.6 本章小节 | 第63-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
