银纳米颗粒陷光结构增强多晶硅薄膜太阳电池光吸收研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-31页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第10-15页 |
| 1.1.1 光伏产业的发展 | 第10-12页 |
| 1.1.2 太阳电池的分类 | 第12-15页 |
| 1.2 太阳电池陷光结构研究 | 第15-25页 |
| 1.2.1 绒面陷光结构 | 第15-16页 |
| 1.2.2 减反射膜 | 第16-18页 |
| 1.2.3 多孔硅陷光结构 | 第18-19页 |
| 1.2.4 金属纳米颗粒陷光结构研究进展 | 第19-21页 |
| 1.2.5 金属纳米颗粒光散射增强机理 | 第21-24页 |
| 1.2.6 金属纳米颗粒局域场增强效应 | 第24-25页 |
| 1.3 金属纳米颗粒的典型结构的研究 | 第25-28页 |
| 1.3.1 纳米球 | 第25-26页 |
| 1.3.2 半球和锥形 | 第26-27页 |
| 1.3.3 核壳结构 | 第27-28页 |
| 1.4 金属纳米颗粒的制备方法 | 第28-29页 |
| 1.5 本文的内容框架 | 第29-31页 |
| 第2章 Ag纳米颗粒制备系统及其表征方法 | 第31-42页 |
| 2.1 Ag纳米颗粒制备系统 | 第31-35页 |
| 2.1.1 磁控溅射系统 | 第31-33页 |
| 2.1.2 快速热退火系统 | 第33-35页 |
| 2.2 金属纳米颗粒性质表征方法 | 第35-41页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜 | 第35-36页 |
| 2.2.2 X射线衍射分析 | 第36-37页 |
| 2.2.3 紫外可见分光光度计 | 第37-38页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜 | 第38-39页 |
| 2.2.5 其他测试方法 | 第39-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 金属Ag纳米颗粒的制备 | 第42-49页 |
| 3.1 衬底的选择及处理 | 第42页 |
| 3.2 Ag薄膜的制备 | 第42-45页 |
| 3.2.1 薄膜生长速率测定 | 第43页 |
| 3.2.2 薄膜沉积机制 | 第43-45页 |
| 3.3 Ag纳米颗粒的形成 | 第45-48页 |
| 3.3.1 退火过程 | 第45-46页 |
| 3.3.2 退火过程中金属纳米颗粒的形成机制 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 工艺参数对Ag纳米颗粒性质影响 | 第49-59页 |
| 4.1 退火温度对金属纳米颗粒性质的影响 | 第49-51页 |
| 4.2 退火方式对颗粒性质的影响 | 第51-57页 |
| 4.2.1 真空原位热退火 | 第51-54页 |
| 4.2.2 快速热退火 | 第54-57页 |
| 4.3 沉积时间对颗粒形成及光学性质的影响 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 Ag纳米颗粒增强多晶硅薄膜太阳电池光吸收 | 第59-69页 |
| 5.1 多晶硅薄膜太阳电池的制备 | 第59-65页 |
| 5.1.1 衬底的选择与处理 | 第60-61页 |
| 5.1.2 ZnO阻挡层制备 | 第61-62页 |
| 5.1.3 籽晶层制备 | 第62-64页 |
| 5.1.4 多晶硅薄膜沉积及p-n结的制备 | 第64-65页 |
| 5.2 Ag纳米颗粒增强多晶硅薄膜太阳电池光吸收 | 第65-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 结论与展望 | 第69-70页 |
| 6.1 论文主要成果 | 第69页 |
| 6.2 前景展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间的学术论文及其它成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
