| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第14页 |
| 1.2 湿度传感器的简介 | 第14-16页 |
| 1.2.1 湿度及其表示方法 | 第15页 |
| 1.2.2 湿度传感器的特性参数 | 第15-16页 |
| 1.2.3 湿度传感器的应用 | 第16页 |
| 1.3 研究湿度传感器湿度感知机理的方法 | 第16-18页 |
| 1.3.1 直流反转极性测试法 | 第17页 |
| 1.3.2 介电损耗法 | 第17页 |
| 1.3.3 交流复阻抗分析法 | 第17-18页 |
| 1.4 湿度传感器研究进展现状及未来发展趋势 | 第18-21页 |
| 1.4.1 湿度传感器研究进展现状 | 第18-20页 |
| 1.4.2 湿度传感器未来发展趋势 | 第20-21页 |
| 1.5 本论文研究内容和目标 | 第21-22页 |
| 第2章 纳米TiO_2的湿敏性能研究 | 第22-34页 |
| 2.1 前言 | 第22页 |
| 2.2 实验部分 | 第22-24页 |
| 2.2.1 实验试剂及仪器 | 第22-23页 |
| 2.2.2 湿敏元件的制作 | 第23-24页 |
| 2.3 湿敏元件的测试原理 | 第24页 |
| 2.4 湿敏测试过程湿度的控制 | 第24-25页 |
| 2.5 湿敏测试主要性能指标 | 第25-26页 |
| 2.6 TiO_2的湿敏性能的研究 | 第26-32页 |
| 2.6.1 TiO_2的阻抗值随相对湿度的变化 | 第26-28页 |
| 2.6.2 TiO_2的灵敏度—相对湿度关系 | 第28-29页 |
| 2.6.3 TiO_2的响应—恢复特性 | 第29-30页 |
| 2.6.4 感湿机理分析 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 珊瑚状纳米SnO_2的制备及其湿敏性能的研究 | 第34-50页 |
| 3.1 前言 | 第34页 |
| 3.2 实验部分 | 第34-36页 |
| 3.2.1 实验原料及仪器 | 第34-35页 |
| 3.2.2 珊瑚状SnO_2纳米粉体的制备 | 第35-36页 |
| 3.3 珊瑚状SnO_2粉体表征及结果 | 第36-41页 |
| 3.3.1 X射线衍射仪(XRD)表征 | 第36-38页 |
| 3.3.2 扫描电子显微镜(SEM)表征 | 第38页 |
| 3.3.3 透射电子显微镜(TEM)表征 | 第38-39页 |
| 3.3.4 氮气等温吸附—脱附及孔径分布(BET)表征 | 第39-41页 |
| 3.4 湿敏元件的制作 | 第41页 |
| 3.5 珊瑚状SnO_2纳米材料的湿敏特性研究 | 第41-47页 |
| 3.5.1 SnO_2材料的阻抗—相对湿度变化 | 第41-42页 |
| 3.5.2 SnO_2材料的灵敏度—相对湿度变化 | 第42-43页 |
| 3.5.3 SnO_2材料的响应—恢复特性 | 第43-46页 |
| 3.5.4 敏感机理分析 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-50页 |
| 第4章 珊瑚状纳米SnO_2-TiO_2的制备及其湿敏性能的研究 | 第50-62页 |
| 4.1 前言 | 第50页 |
| 4.2 实验部分 | 第50-52页 |
| 4.2.1 实验试剂及仪器 | 第50页 |
| 4.2.2 SnO_2-TiO_2复合材料的制备 | 第50-51页 |
| 4.2.3 湿度传感器的制作 | 第51-52页 |
| 4.3 SnO_2-TiO_2复合材料的表征 | 第52-56页 |
| 4.3.1 X射线衍射仪（XRD）表征 | 第52-53页 |
| 4.3.2 X射线光电子能谱仪（XPS）表征 | 第53-54页 |
| 4.3.3 扫描电子显微镜（SEM）表征 | 第54-55页 |
| 4.3.4 氮气等温吸附-脱附及孔径分面（BET）表征 | 第55-56页 |
| 4.4 SnO_2-TiO_2纳米复合材料的湿敏特性的研究 | 第56-60页 |
| 4.4.1 不同频率下SnO_2-TiO_2(X)的灵敏度—相对湿度变化 | 第56-57页 |
| 4.4.2 同频率下不同组分薄膜的灵敏度—相对湿度变化 | 第57-58页 |
| 4.4.3 SnO_2-TiO_2(X=6)的响应—恢复特性 | 第58-59页 |
| 4.4.4 敏感机理分析 | 第59-60页 |
| 4.5 SnO_2-TiO_2与Sn O2的湿敏特性对比 | 第60-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 结论与展望 | 第62-66页 |
| 5.1 结论 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 硕士期间取得的成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
