钇锰交替掺杂钛酸锶钡薄膜预热处理研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 BST的基本结构和基本理论 | 第12-17页 |
| 1.2.1 BST的基本结构 | 第12-14页 |
| 1.2.2 BST的基本理论及性能 | 第14-17页 |
| 1.3 BST研究概述 | 第17-22页 |
| 1.3.1 掺杂研究概述 | 第17-20页 |
| 1.3.2 交替掺杂研究概述 | 第20页 |
| 1.3.3 热处理研究概述 | 第20-22页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第22-24页 |
| 第二章 BST薄膜的制备表征及实验方案 | 第24-36页 |
| 2.1 BST薄膜的制备 | 第24-30页 |
| 2.1.1 Sol-Gel法基本原理 | 第24-25页 |
| 2.1.2 Sol-Gel法制备BST薄膜 | 第25-30页 |
| 2.2 BST薄膜的表征 | 第30-33页 |
| 2.2.1 XRD测试 | 第30-31页 |
| 2.2.2 SEM测试 | 第31-32页 |
| 2.2.3 介电性能测试 | 第32-33页 |
| 2.3 实验方案设计 | 第33-34页 |
| 2.3.1 掺杂元素的选取 | 第33-34页 |
| 2.3.2 薄膜结构的设计 | 第34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 钇锰交替掺杂BST薄膜的性能分析 | 第36-54页 |
| 3.1 600℃预热处理薄膜的性能分析 | 第36-40页 |
| 3.1.1 XRD分析 | 第36-38页 |
| 3.1.2 介电性能分析 | 第38-40页 |
| 3.2 650℃预热处理薄膜的性能分析 | 第40-44页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 介电性能分析 | 第42-44页 |
| 3.3 预热处理温度研究 | 第44-49页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第44-46页 |
| 3.3.2 介电性能分析 | 第46-49页 |
| 3.4 高Mn浓度BST薄膜性能研究 | 第49-52页 |
| 3.4.1 XRD分析 | 第49-51页 |
| 3.4.2 介电性能分析 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 钇锰交替掺杂BST薄膜的性能优化 | 第54-70页 |
| 4.1 550℃预热处理薄膜的性能分析 | 第54-58页 |
| 4.1.1 XRD分析 | 第54-56页 |
| 4.1.2 介电性能分析 | 第56-58页 |
| 4.2 梯度预热处理薄膜的性能分析 | 第58-62页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第58-59页 |
| 4.2.2 介电性能分析 | 第59-62页 |
| 4.3 频率特性分析 | 第62-67页 |
| 4.4 SEM分析 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 主要结论 | 第70-71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第78-79页 |
