| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第16-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第16-19页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第19-22页 |
| 1.2.1 CMP设备控制系统的国内外研究现状 | 第19-20页 |
| 1.2.2 CMP设备抛光压力控制方法的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3 嵌入式系统概述 | 第22-24页 |
| 1.3.1 嵌入式硬件系统 | 第22-23页 |
| 1.3.2 嵌入式操作系统 | 第23-24页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第24-25页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第24页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第24-25页 |
| 1.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 CMP设备抛光头压力自动加载系统方案设计 | 第26-44页 |
| 2.1 CMP设备介绍 | 第26-27页 |
| 2.2 压力自动加载系统总体方案 | 第27-29页 |
| 2.2.1 压力自动加载系统方案技术要求 | 第28页 |
| 2.2.2 压力自动加载系统方案分析 | 第28-29页 |
| 2.3 压力自动加载系统设计 | 第29-35页 |
| 2.3.1 气动系统的组成 | 第29-30页 |
| 2.3.2 压力自动加载系统气动回路设计 | 第30-32页 |
| 2.3.3 气动回路元器件选型 | 第32-35页 |
| 2.4 压力自动加载系统控制器硬件设计 | 第35-43页 |
| 2.4.1 控制器总体方案 | 第36-37页 |
| 2.4.2 ARM微处理器的选择 | 第37-39页 |
| 2.4.3 压力传感器的选择 | 第39-40页 |
| 2.4.4 位置检测元件的选择 | 第40-41页 |
| 2.4.5 A/D转化模块 | 第41页 |
| 2.4.6 D/A转换模块 | 第41-42页 |
| 2.4.7 串口通信模块 | 第42-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 CMP设备抛光头压力自动加载系统建模与控制策略研究 | 第44-62页 |
| 3.1 压力自动加载系统数学模型推导 | 第44-51页 |
| 3.1.1 气缸压力微分方程 | 第45-46页 |
| 3.1.2 比例阀的压力-流量方程 | 第46-47页 |
| 3.1.3 活塞力平衡方程 | 第47-48页 |
| 3.1.4 系统传递函数 | 第48-51页 |
| 3.2 压力自动加载系统控制策略的研究 | 第51-53页 |
| 3.2.1 常规PID控制 | 第51页 |
| 3.2.2 专家控制 | 第51-52页 |
| 3.2.3 模糊控制 | 第52页 |
| 3.2.4 神经网络控制 | 第52-53页 |
| 3.3 压力自动加载系统模糊PID控制器研究 | 第53-61页 |
| 3.3.1 PID控制技术 | 第53-54页 |
| 3.3.2 模糊控制的基本原理 | 第54-55页 |
| 3.3.3 模糊PID控制器的设计 | 第55-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 CMP设备抛光头压力自动加载系统控制器软件设计 | 第62-86页 |
| 4.1 控制器软件设计要求 | 第62页 |
| 4.2 控制器软件设计方案 | 第62-63页 |
| 4.3 嵌入式Linux系统的移植 | 第63-68页 |
| 4.3.1 嵌入式Linux系统的组成 | 第63页 |
| 4.3.2 交叉编译环境的建立 | 第63-65页 |
| 4.3.3 嵌入式BootLoader的配置与编译 | 第65-67页 |
| 4.3.4 嵌入式Linux内核的裁剪与移植 | 第67-68页 |
| 4.4 控制器主要功能模块的程序设计与实现 | 第68-84页 |
| 4.4.1 温度测量程序的设计 | 第70-72页 |
| 4.4.2 超声波测距程序的设计 | 第72-75页 |
| 4.4.3 D/A模块程序设计 | 第75-77页 |
| 4.4.4 压力采集模块程序设计 | 第77-79页 |
| 4.4.5 数字滤波程序设计 | 第79-80页 |
| 4.4.6 控制算法的实现 | 第80-82页 |
| 4.4.7 压力自动加载过程的整体程序设计 | 第82-83页 |
| 4.4.8 上位机测控界面介绍 | 第83-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 CMP设备抛光头压力自动加载系统性能测试 | 第86-94页 |
| 5.1 实验准备 | 第86-89页 |
| 5.1.1 各部分功能模块调试 | 第86-88页 |
| 5.1.2 实验平台搭建 | 第88-89页 |
| 5.3 压力自动加载系统闭环实验 | 第89-91页 |
| 5.4 超薄不锈钢基板抛光实验 | 第91-93页 |
| 5.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 结论与展望 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102页 |
