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大幅面薄膜厚度在线检测及控制系统的研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-21页
    1.1 课题的研究背景、目的及意义第11-13页
    1.2 测厚技术概况第13-15页
        1.2.1 非在线测厚技术第13-14页
        1.2.2 在线测厚技术第14-15页
    1.3 国内外的研究现状第15-18页
        1.3.1 国内研究现状第15-16页
        1.3.2 国外研究现状第16-18页
    1.4 论文的主要研究内容与技术路线第18-20页
        1.4.1 问题提出第18-19页
        1.4.2 论文的主要研究内容第19页
        1.4.3 论文的技术路线第19-20页
    1.5 本章小结第20-21页
第二章 大幅面薄膜厚度在线检测系统的构建第21-53页
    2.1 大幅面薄膜生产工艺的现场分析第21-24页
    2.2 薄膜厚度在线测量方案第24-31页
        2.2.1 β射线技术第24页
        2.2.2 红外线测量技术第24-25页
        2.2.3 X射线技术第25-27页
        2.2.4 电容式传感器测量技术第27-29页
        2.2.5 CW-341测微计第29-31页
    2.3 大幅面薄膜厚度在线检测系统的搭建第31-41页
        2.3.1 大幅面薄膜厚度在线检测系统的整体框架第32页
        2.3.2 薄膜厚度在线检测系统的硬件支撑第32-39页
        2.3.3 在线检测系统的机械构件设计第39-41页
    2.4 大幅面薄膜厚度的数据采集及处理第41-51页
        2.4.1 PLC触点与存储器的定义第41-42页
        2.4.2 PLC与测微计的通讯第42-49页
        2.4.3 PLC与触摸显示屏的通讯及界面设计第49-51页
    2.5 系统变频器频率与薄膜厚度的数学关系第51-52页
    2.6 本章小结第52-53页
第三章 大幅面薄膜厚度的控制系统第53-87页
    3.1 控制系统的数学模型第53-57页
        3.1.1 被控模型的介绍第53-54页
        3.1.2 系统数学模型的建立第54-57页
    3.2 传统PID控制第57-66页
        3.2.1 PID的控制原理第57-59页
        3.2.2 数字PID控制算法第59-60页
        3.2.3 PID参数的整定方法第60-64页
        3.2.4 PID各参数的最终确定第64-66页
    3.3 模糊PID控制第66-81页
        3.3.1 模糊控制原理第66-72页
        3.3.2 模糊PID设计第72-78页
        3.3.3 ΔKP、ΔKI、ΔKD的输出值计算第78-81页
    3.4 模糊PID控制器的控制仿真第81-83页
        3.4.1 控制系统仿真平台简介第81页
        3.4.2 模糊PID控制系统仿真框图的建立第81-83页
        3.4.3 系统的性能分析第83页
    3.5 传统PID控制与模糊PID控制的比对第83-84页
    3.6 本章小结第84-87页
第四章 大幅面薄膜厚度在线检测及控制系统的实施第87-97页
    4.1 薄膜厚度在线检测及控制系统流程图第87页
    4.2 薄膜厚度在线测量及控制系统的现场安装第87-89页
    4.3 主程序设计第89-90页
    4.4 模糊PID在S7-200中的实现第90-95页
        4.4.1 模糊PID的算法实现第90-92页
        4.4.2 模糊PID在S7-200上的实现第92-95页
    4.5 试验结果分析第95-96页
    4.6 本章小结第96-97页
第五章 总结与展望第97-99页
    5.1 总结第97-98页
    5.2 展望第98-99页
致谢第99-101页
参考文献第101-105页
附录:攻读硕士期间发表论文情况第105页

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