大幅面薄膜厚度在线检测及控制系统的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题的研究背景、目的及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 测厚技术概况 | 第13-15页 |
| 1.2.1 非在线测厚技术 | 第13-14页 |
| 1.2.2 在线测厚技术 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 论文的主要研究内容与技术路线 | 第18-20页 |
| 1.4.1 问题提出 | 第18-19页 |
| 1.4.2 论文的主要研究内容 | 第19页 |
| 1.4.3 论文的技术路线 | 第19-20页 |
| 1.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 大幅面薄膜厚度在线检测系统的构建 | 第21-53页 |
| 2.1 大幅面薄膜生产工艺的现场分析 | 第21-24页 |
| 2.2 薄膜厚度在线测量方案 | 第24-31页 |
| 2.2.1 β射线技术 | 第24页 |
| 2.2.2 红外线测量技术 | 第24-25页 |
| 2.2.3 X射线技术 | 第25-27页 |
| 2.2.4 电容式传感器测量技术 | 第27-29页 |
| 2.2.5 CW-341测微计 | 第29-31页 |
| 2.3 大幅面薄膜厚度在线检测系统的搭建 | 第31-41页 |
| 2.3.1 大幅面薄膜厚度在线检测系统的整体框架 | 第32页 |
| 2.3.2 薄膜厚度在线检测系统的硬件支撑 | 第32-39页 |
| 2.3.3 在线检测系统的机械构件设计 | 第39-41页 |
| 2.4 大幅面薄膜厚度的数据采集及处理 | 第41-51页 |
| 2.4.1 PLC触点与存储器的定义 | 第41-42页 |
| 2.4.2 PLC与测微计的通讯 | 第42-49页 |
| 2.4.3 PLC与触摸显示屏的通讯及界面设计 | 第49-51页 |
| 2.5 系统变频器频率与薄膜厚度的数学关系 | 第51-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 大幅面薄膜厚度的控制系统 | 第53-87页 |
| 3.1 控制系统的数学模型 | 第53-57页 |
| 3.1.1 被控模型的介绍 | 第53-54页 |
| 3.1.2 系统数学模型的建立 | 第54-57页 |
| 3.2 传统PID控制 | 第57-66页 |
| 3.2.1 PID的控制原理 | 第57-59页 |
| 3.2.2 数字PID控制算法 | 第59-60页 |
| 3.2.3 PID参数的整定方法 | 第60-64页 |
| 3.2.4 PID各参数的最终确定 | 第64-66页 |
| 3.3 模糊PID控制 | 第66-81页 |
| 3.3.1 模糊控制原理 | 第66-72页 |
| 3.3.2 模糊PID设计 | 第72-78页 |
| 3.3.3 ΔKP、ΔKI、ΔKD的输出值计算 | 第78-81页 |
| 3.4 模糊PID控制器的控制仿真 | 第81-83页 |
| 3.4.1 控制系统仿真平台简介 | 第81页 |
| 3.4.2 模糊PID控制系统仿真框图的建立 | 第81-83页 |
| 3.4.3 系统的性能分析 | 第83页 |
| 3.5 传统PID控制与模糊PID控制的比对 | 第83-84页 |
| 3.6 本章小结 | 第84-87页 |
| 第四章 大幅面薄膜厚度在线检测及控制系统的实施 | 第87-97页 |
| 4.1 薄膜厚度在线检测及控制系统流程图 | 第87页 |
| 4.2 薄膜厚度在线测量及控制系统的现场安装 | 第87-89页 |
| 4.3 主程序设计 | 第89-90页 |
| 4.4 模糊PID在S7-200中的实现 | 第90-95页 |
| 4.4.1 模糊PID的算法实现 | 第90-92页 |
| 4.4.2 模糊PID在S7-200上的实现 | 第92-95页 |
| 4.5 试验结果分析 | 第95-96页 |
| 4.6 本章小结 | 第96-97页 |
| 第五章 总结与展望 | 第97-99页 |
| 5.1 总结 | 第97-98页 |
| 5.2 展望 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 附录：攻读硕士期间发表论文情况 | 第105页 |
