| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 相位测量轮廓术概述 | 第12-14页 |
| 1.2.1 投影栅三维形貌测量技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 干涉计量法三维形貌测量技术 | 第13-14页 |
| 1.3 相位提取算法 | 第14-18页 |
| 1.3.1 概述 | 第14-15页 |
| 1.3.2 典型的相位提取算法 | 第15-18页 |
| 1.4 研究意义 | 第18页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.6 小结 | 第19-20页 |
| 第二章 相位解调算法 | 第20-38页 |
| 2.1 相位解调算法概述 | 第20页 |
| 2.2 基于广义相移法的相位解调算法 | 第20-29页 |
| 2.2.1 广义相移法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 广义相移法在测量高动态范围表面的应用 | 第21-23页 |
| 2.2.3 实验验证 | 第23-29页 |
| 2.3 基于傅里叶变换法的相位解调算法 | 第29-36页 |
| 2.3.1 改进的傅里叶变换法 | 第29-30页 |
| 2.3.2 双频傅里叶变换法 | 第30页 |
| 2.3.3 基于时空条纹法的双频相位解调算法 | 第30-32页 |
| 2.3.4 实验验证 | 第32-36页 |
| 2.4 小结 | 第36-38页 |
| 第三章 时域相位去包裹算法 | 第38-54页 |
| 3.1 时域相位去包裹算法概述 | 第38页 |
| 3.2 基于复合条纹图的双频时域去包裹算法 | 第38-46页 |
| 3.2.1 原理 | 第38-41页 |
| 3.2.2 实验验证 | 第41-46页 |
| 3.3 扩展深度范围的双波长时域去包裹算法 | 第46-53页 |
| 3.3.1 相位差和相位和的估算 | 第46-48页 |
| 3.3.2 改进的时域相位去包裹算法 | 第48-49页 |
| 3.3.3 实验验证 | 第49-53页 |
| 3.4 小结 | 第53-54页 |
| 第四章 空域相位去包裹算法 | 第54-72页 |
| 4.1 空域相位去包裹算法概述 | 第54页 |
| 4.2 空域频移去包裹算法 | 第54-64页 |
| 4.2.1 频移去包裹 | 第54-56页 |
| 4.2.2 频移的空域实现 | 第56-57页 |
| 4.2.3 零填充算法 | 第57-58页 |
| 4.2.4 基于迭代局部离散傅里叶变换的减包裹算法 | 第58-61页 |
| 4.2.5 实验验证 | 第61-64页 |
| 4.3 基于加权最小二乘法的空域去包裹算法 | 第64-71页 |
| 4.3.1 原理 | 第64-67页 |
| 4.3.2 实验验证 | 第67-71页 |
| 4.4 小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论 | 第72-74页 |
| 5.1 主要工作 | 第72-73页 |
| 5.2 创新点 | 第73页 |
| 5.3 前景展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第82-84页 |
| 发表论文 | 第82-83页 |
| 参与的科研项目 | 第83-84页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第84页 |