| 摘要 | 第6-8页 |
| abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-38页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 微纳米加工技术 | 第15-20页 |
| 1.3 光诱导介电泳技术的研究现状 | 第20-31页 |
| 1.3.1 光诱导介电泳国外研究现状 | 第20-28页 |
| 1.3.2 光诱导介电泳国内研究现状 | 第28-31页 |
| 1.4 柔性器件的研究现状 | 第31-35页 |
| 1.5 本文的研究目标与主要研究内容 | 第35-36页 |
| 1.6 本文的结构安排 | 第36-38页 |
| 第2章 光诱导介电泳移动和操作微纳米颗粒 | 第38-53页 |
| 2.1 引言 | 第38页 |
| 2.2 光诱导介电泳简介 | 第38-44页 |
| 2.2.1 介电泳原理 | 第38-41页 |
| 2.2.2 光诱导介电泳原理和实验系统 | 第41-44页 |
| 2.3 动态移动二氧化硅小球 | 第44-45页 |
| 2.4 动态移动PEGDA模块 | 第45-48页 |
| 2.5 光诱导介电泳力仿真分析 | 第48-51页 |
| 2.5.1 空间电场分布 | 第48-51页 |
| 2.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章光诱导电化学沉积原理及仿真 | 第53-58页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 光诱导电极反应动力学 | 第53-56页 |
| 3.2.1 电极反应原理 | 第53页 |
| 3.2.2 电极反应的控制步骤 | 第53-54页 |
| 3.2.3 光诱导电极反应过程 | 第54-56页 |
| 3.3 光诱导电极反应仿真 | 第56-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 光诱导电化学沉积微电极参数研究 | 第58-68页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 光诱导电化学沉积的原理 | 第58-62页 |
| 4.2.1 光诱导电化学沉积及其他沉积方式对比 | 第58-61页 |
| 4.2.2 光诱导电化学沉积机理 | 第61页 |
| 4.2.3 光诱导电化学沉积实验系统 | 第61-62页 |
| 4.3 光诱导沉积实验结果与分析 | 第62-65页 |
| 4.3.1 交流电信号频率对沉积影响 | 第62-63页 |
| 4.3.2 交流电信号幅值的影响 | 第63-64页 |
| 4.3.3 溶液浓度对沉积影响 | 第64页 |
| 4.3.4 银电极表面分析 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-68页 |
| 第5章 光诱导电化学沉积金属微电极的转印柔性基底研究 | 第68-79页 |
| 5.1 引言 | 第68页 |
| 5.2 柔性电子学 | 第68-70页 |
| 5.2.1 纳米压印技术 | 第69页 |
| 5.2.2 转印技术 | 第69-70页 |
| 5.3 金属微电极转印研究 | 第70-72页 |
| 5.3.1 表面固化转印研究 | 第70-71页 |
| 5.3.2 模板固化转印研究 | 第71-72页 |
| 5.4 转印方式研究 | 第72-76页 |
| 5.4.1 转印方式对比 | 第72-75页 |
| 5.4.2 转印图形大小对转印影响 | 第75页 |
| 5.4.3 PDMS固化时间对转印影响 | 第75-76页 |
| 5.4.4 PDMS厚度对转印影响 | 第76页 |
| 5.5 转印电极的电特性测量 | 第76-78页 |
| 5.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |