| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-14页 |
| 1.2 二硫化钼薄膜的性质 | 第14-17页 |
| 1.2.1 反应性 | 第14页 |
| 1.2.2 各向异性 | 第14页 |
| 1.2.3 润滑性 | 第14-15页 |
| 1.2.4 光电性 | 第15-17页 |
| 1.2.5 力学性 | 第17页 |
| 1.3 二硫化钼薄膜的制备方法 | 第17-21页 |
| 1.3.1 锂离子插层法 | 第18页 |
| 1.3.2 水热法 | 第18-19页 |
| 1.3.3 电化学沉积法 | 第19-20页 |
| 1.3.4 液相超声法 | 第20页 |
| 1.3.5 微机械力剥离法 | 第20-21页 |
| 1.3.6 其他方法 | 第21页 |
| 1.4 二硫化钼薄膜研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4.1 二硫化钼薄膜的第一性原理研究现状 | 第21-22页 |
| 1.4.2 二硫化钼薄膜的制备研究现状 | 第22-23页 |
| 1.5 研究目的及内容 | 第23-25页 |
| 1.5.1 课题研究目的 | 第23页 |
| 1.5.2 课题研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 二硫化钼薄膜的计算理论及实验方法 | 第25-35页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 二硫化钼薄膜的计算理论 | 第25-28页 |
| 2.2.1 密度泛函理论(DFT) | 第25-27页 |
| 2.2.2 交换关联能泛函 | 第27-28页 |
| 2.3 运算软件Materials Studio的简介 | 第28-29页 |
| 2.4 二硫化钼薄膜的制备方法 | 第29-34页 |
| 2.4.1 薄膜制备原理 | 第29-30页 |
| 2.4.2 薄膜制备材料及仪器 | 第30-31页 |
| 2.4.3 实验流程 | 第31-33页 |
| 2.4.4 实验结果检测方法 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的电子结构 | 第35-49页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 理论模型与计算方法 | 第35-39页 |
| 3.2.1 理论模型 | 第35-36页 |
| 3.2.2 收敛性测试 | 第36-38页 |
| 3.2.3 计算方法 | 第38-39页 |
| 3.3 计算结果及分析 | 第39-48页 |
| 3.3.1 晶格常数 | 第39-40页 |
| 3.3.2 晶格畸变 | 第40-41页 |
| 3.3.3 能带结构 | 第41-43页 |
| 3.3.4 电子态密度 | 第43-46页 |
| 3.3.5 差分电荷密度 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的光学性质 | 第49-63页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 介电函数分析 | 第49-56页 |
| 4.2.1 本征二硫化钼薄膜的介电函数 | 第49-51页 |
| 4.2.2 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的介电函数 | 第51-56页 |
| 4.3 其他光学系数分析 | 第56-61页 |
| 4.3.1 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的吸收系数 | 第56-59页 |
| 4.3.2 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的反射光谱 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的弹性常数 | 第63-73页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 计算方法 | 第63-66页 |
| 5.3 计算结果及分析 | 第66-72页 |
| 5.3.1 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的硬度计算及分析 | 第66-69页 |
| 5.3.2 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的韧脆性计算及分析 | 第69-70页 |
| 5.3.3 d_2族掺杂二硫化钼薄膜的弹性各向异性计算及分析 | 第70-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 Ti掺杂二硫化钼薄膜的研究与表征 | 第73-85页 |
| 6.1 引言 | 第73页 |
| 6.2 工艺参数的研究 | 第73-77页 |
| 6.2.1 电流对薄膜形貌的影响 | 第73-75页 |
| 6.2.2 时间对薄膜厚度的影响 | 第75-77页 |
| 6.3 Ti掺杂薄膜的表征 | 第77-83页 |
| 6.3.1 Ti掺杂二硫化钼薄膜的SEM分析 | 第77-78页 |
| 6.3.2 Ti掺杂二硫化钼薄膜的XRD分析 | 第78-79页 |
| 6.3.3 Ti掺杂二硫化钼薄膜的XPS分析 | 第79-82页 |
| 6.3.4 Ti掺杂二硫化钼薄膜的UV-Vis分析 | 第82-83页 |
| 6.4 本章小结 | 第83-85页 |
| 结论 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
