| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-18页 |
| ·散斑干涉测量的研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·论文的研究目的和主要工作 | 第17-18页 |
| 2 散斑干涉测量技术 | 第18-24页 |
| ·散斑产生原理 | 第18-19页 |
| ·散斑的概念 | 第18-19页 |
| ·散斑的大小 | 第19页 |
| ·电子散斑干涉术(ESPI) | 第19-21页 |
| ·剪切散斑干涉术(ESSPI) | 第21-24页 |
| 3 显微电子散斑干涉测量技术 | 第24-46页 |
| ·相移干涉的基本原理 | 第24-29页 |
| ·相移方法的探讨 | 第24-27页 |
| ·相移干涉测量原理 | 第27-29页 |
| ·相位信息处理 | 第29-33页 |
| ·相位提取算法 | 第29-31页 |
| ·相位解包裹技术(phase unwrapping) | 第31-33页 |
| ·离面变形量的计算 | 第33页 |
| ·散斑图滤波处理 | 第33-37页 |
| ·空域滤波 | 第34-35页 |
| ·频域滤波 | 第35-36页 |
| ·散斑滤波的讨论 | 第36-37页 |
| ·显微散斑仿真研究 | 第37-46页 |
| ·四步相移法 | 第37-38页 |
| ·被测物体变形仿真研究 | 第38-44页 |
| ·步长误差对测量精度的影响 | 第44-46页 |
| 4 原理实验 | 第46-59页 |
| ·实验系统装置构成 | 第46-49页 |
| ·PZT步长测量实验 | 第49-50页 |
| ·Micro-ESPI实验 | 第50-59页 |
| ·实验光路和步骤 | 第50-52页 |
| ·Micro-ESPI测量物体变形 | 第52-57页 |
| ·实验小结 | 第57-59页 |
| 5 结论与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 作者简历 | 第62-64页 |
| 学位论文数据集 | 第64页 |