| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第9-13页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动电源技术分类 | 第9-11页 |
| 1.2.2 压电陶瓷驱动电源国内外主要产品分析 | 第11页 |
| 1.2.3 压电陶瓷执行器控制技术研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 压电陶瓷执行器驱动控制器数字系统 | 第13-14页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 压电陶瓷微位移工作台构成及驱动控制原理 | 第15-33页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 压电陶瓷微位移工作台构成 | 第15-16页 |
| 2.3 压电陶瓷驱动电源控制模块原理 | 第16-18页 |
| 2.4 精密线性直流稳压电源原理 | 第18-20页 |
| 2.5 压电陶瓷驱动电源模拟放大模块原理设计 | 第20-32页 |
| 2.5.1 运算放大电路稳定性分析 | 第21-25页 |
| 2.5.2 高压运放式压电陶瓷驱动电源原理及其仿真 | 第25-31页 |
| 2.5.3 误差放大式压电陶瓷驱动电源原理 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动电源及其控制系统设计 | 第33-44页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 压电陶瓷微位移工作台系统设计 | 第33-35页 |
| 3.2.1 压电陶瓷驱动控制电源箱 | 第33-34页 |
| 3.2.2 压电陶瓷振动微位移实验平台系统设计 | 第34-35页 |
| 3.3 精密线性直流稳压电源设计 | 第35-38页 |
| 3.3.1 变压器输出交流电压计算 | 第35-36页 |
| 3.3.2 限压电路原理 | 第36-37页 |
| 3.3.3 第二级稳压电路原理 | 第37页 |
| 3.3.4 限压保护 | 第37-38页 |
| 3.3.5 过流保护 | 第38页 |
| 3.4 基于 FPGA 的 DDS 信号发生器设计 | 第38-41页 |
| 3.4.1 DAC 数模转换器的选取 | 第38-39页 |
| 3.4.2 AD669 的时序设计 | 第39页 |
| 3.4.3 DDS 信号发生模块 | 第39-40页 |
| 3.4.4 低通滤波器的设计 | 第40-41页 |
| 3.5 误差放大式压电陶瓷驱动电源功率板改进 | 第41-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 实验及数据分析 | 第44-52页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 精密线性直流稳压电源纹波实验 | 第44-46页 |
| 4.3 压电陶瓷驱动控制电源箱测试 | 第46-51页 |
| 4.3.1 压电陶瓷驱动控制电源箱稳定性实验 | 第46页 |
| 4.3.2 压电陶瓷驱动控制电源箱频率响应和阶跃响应特性实验 | 第46-48页 |
| 4.3.3 压电陶瓷驱动控制电源箱线性度实验 | 第48-50页 |
| 4.3.4 压电陶瓷驱动控制电源箱纹波实验 | 第50-51页 |
| 4.4 振动微位移平台动态特性实验 | 第51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
