FeCo合金薄膜的制备及其磁性能的表征
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-13页 |
| 1.1.1 磁学的历史及发展 | 第11-12页 |
| 1.1.2 磁性材料的应用领域 | 第12-13页 |
| 1.2 磁性材料 | 第13-16页 |
| 1.2.1 软磁材料 | 第14页 |
| 1.2.2 FeCo薄膜的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 本论文研究的内容及意义 | 第16-18页 |
| 1.3.1 本论文研究的主要内容 | 第16页 |
| 1.3.2 本论文研究的意义 | 第16-18页 |
| 第二章 理论基础 | 第18-22页 |
| 2.1 薄膜生长理论 | 第18-19页 |
| 2.2 连续薄膜的形成 | 第19-20页 |
| 2.3 纳米晶粒尺寸效应 | 第20-22页 |
| 第三章 薄膜的制备及表征方法 | 第22-29页 |
| 3.1 薄膜的制备 | 第22-24页 |
| 3.1.1 制备方法 | 第22页 |
| 3.1.2 制备条件 | 第22-23页 |
| 3.1.3 薄膜的制备原理 | 第23-24页 |
| 3.1.4 退火处理 | 第24页 |
| 3.2 薄膜的表征方法 | 第24-29页 |
| 3.2.1 台阶仪 | 第24页 |
| 3.2.2 X射线衍射（XRD） | 第24-25页 |
| 3.2.3 X射线荧光光谱分析（XRF） | 第25-26页 |
| 3.2.4 扫描电子显微镜（SEM） | 第26-27页 |
| 3.2.5 振动样品磁强计（VSM） | 第27-28页 |
| 3.2.6 X射线光电子能谱分析（XPS） | 第28-29页 |
| 第四章 FeCo合金薄膜的性能分析 | 第29-43页 |
| 4.1 FeCo薄膜的XPS分析 | 第29-31页 |
| 4.2 不同成分比对FeCo合金薄膜性能的影响 | 第31-36页 |
| 4.2.1 不同成分比薄膜的XRD测试分析 | 第31-33页 |
| 4.2.2 不同成分薄膜的结构分析 | 第33-36页 |
| 4.3 不同退火温度对FeCo合金薄膜性能的影响 | 第36-42页 |
| 4.3.1 不同退火温度薄膜的XRD测试分析 | 第36-37页 |
| 4.3.2 不同退火温度薄膜的结构分析 | 第37-39页 |
| 4.3.3 不同退火温度薄膜的VSM磁性分析 | 第39-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 FeCoN薄膜的性能分析 | 第43-49页 |
| 5.1 FeCoN薄膜的XPS分析 | 第43-44页 |
| 5.2 N元素掺杂对FeCo合金薄膜性能的影响 | 第44-46页 |
| 5.2.1 不同N分压薄膜的XRD测试分析 | 第44-45页 |
| 5.2.2 不同N分压薄膜的VSM磁性分析 | 第45-46页 |
| 5.3 温度对FeCoN薄膜的性能影响 | 第46-48页 |
| 5.3.1 不同退火温度薄膜的XRD测试分析 | 第46-47页 |
| 5.3.2 不同退火温度薄膜的VSM磁性分析 | 第47-48页 |
| 5.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 附录 硕士研究生在读期间的研究成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
