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靶电流和气体流量对含Ti薄膜光学性能的影响

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-19页
    1.1 研究背景及意义第10-11页
    1.2 含钛薄膜的制备方法第11-13页
    1.3 含Ti选择性吸收薄膜第13-14页
        1.3.1 选择性吸收薄膜概述第13页
        1.3.2 Ti-DLC选择性吸收薄膜研究现状第13-14页
    1.4 含Ti颜色薄膜第14-17页
        1.4.1 薄膜的Lab颜色系统第14-15页
        1.4.2 TiN光学薄膜研究现状第15-16页
        1.4.3 TiC薄膜研究现状第16-17页
    1.5 选题依据第17页
    1.6 论文研究内容第17-19页
第2章 实验方案第19-26页
    2.1 实验设备第19-21页
    2.2 实验方法第21-23页
        2.2.1 Al/Ti-DLC/DLC选择性吸收涂层的制备工艺第21页
        2.2.2 TiN薄膜的制备工艺第21-22页
        2.2.3 TiC薄膜的制备工艺第22-23页
    2.3 薄膜表征第23-26页
        2.3.1 X射线衍射(XRD)第23页
        2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)第23页
        2.3.3 三维白光干涉表面轮廓仪第23-24页
        2.3.4 拉曼光谱分析仪(Raman)第24页
        2.3.5 UV-VIS-NIR分光光度计第24-25页
        2.3.6 CM-5 分光测色计第25-26页
第3章 靶电流和Ar流量对Al/Ti-DLC/DLC选择性吸收薄膜光学性能的影响第26-39页
    3.1 Al/Ti-DLC/DLC选择性吸收薄膜的结构第26-27页
    3.2 C靶电流对DLC减反射层的影响第27-30页
    3.3 Ar流量对DLC减反射层的影响第30-32页
    3.4 Ti靶电流对Ti-DLC吸收层的影响第32-35页
    3.5 靶电流和Ar流量对Al/Ti-DLC/DLC选择性吸收薄膜的影响机理第35-38页
    3.6 本章小结第38-39页
第4章 Ti靶电流和N2流量对TiN薄膜光学性能的影响第39-52页
    4.1 钛靶电流对TiN薄膜的影响第39-45页
        4.1.1 钛靶电流的变化对TiN薄膜颜色的影响第39-42页
        4.1.2 钛靶电流的变化对TiN薄膜形貌的影响第42-43页
        4.1.3 钛靶电流的变化对TiN薄膜厚度的影响第43-44页
        4.1.4 钛靶电流的变化对TiN薄膜反射率的影响第44页
        4.1.5 钛靶电流的变化对TiN薄膜元素比例的影响第44-45页
    4.2 N_2流量对TiN薄膜的影响第45-50页
        4.2.1 氮气流量的变化对TiN薄膜颜色的影响第45-47页
        4.2.2 氮气流量的变化对TiN薄膜形貌的影响第47-49页
        4.2.3 氮气流量的变化对TiN薄膜厚度的影响第49页
        4.2.4 氮气流量的变化对TiN薄膜反射率的影响第49-50页
    4.3 本章小结第50-52页
第5章 靶电流和气体流量对TiC薄膜光学性能的影响第52-62页
    5.1 靶电流对TiC薄膜光学性能的影响第52-56页
        5.1.1 钛靶电流变化对TiC薄膜颜色的影响第52-53页
        5.1.2 钛靶电流变化对TiC薄膜形貌的影响第53-54页
        5.1.3 钛靶电流变化对TiC薄膜反射率的影响第54-55页
        5.1.4 钛靶电流变化对TiC薄膜厚度的影响第55-56页
        5.1.5 钛靶电流对TiC薄膜粗糙度的影响第56页
    5.2 乙炔流量对TiC薄膜的影响第56-61页
        5.2.1 乙炔流量的变化对TiC薄膜颜色的影响第56-57页
        5.2.2 乙炔流量变化对TiC薄膜形貌的影响第57-58页
        5.2.3 乙炔流量的变化对TiC薄膜透射率的影响第58-59页
        5.2.4 乙炔流量的变化对TiC薄膜厚度的影响第59-60页
        5.2.5 乙炔流量的变化对TiC薄膜粗糙度的影响第60-61页
    5.3 本章小结第61-62页
第6章 结论第62-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-70页
个人简历第70-71页
在学期间研究成果第71页

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