| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 发展钛及其合金加工技术的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 电解加工技术概述 | 第10-12页 |
| 1.3 复合电解加工技术概述 | 第12-14页 |
| 1.3.1 电解电火花复合加工技术 | 第12-13页 |
| 1.3.2 超声电解复合加工技术 | 第13页 |
| 1.3.3 电解磨削加工技术 | 第13-14页 |
| 1.4 电化学微细加工技术概述 | 第14-19页 |
| 1.4.1 扫描电化学显微镜技术(SCEM) | 第14-15页 |
| 1.4.2 EFAB技术 | 第15-16页 |
| 1.4.3 LIGA技术 | 第16-17页 |
| 1.4.4 约束刻蚀剂层技术(CELT) | 第17-19页 |
| 1.5“电解—约束刻蚀”复合加工的构想 | 第19-20页 |
| 1.5.1 技术复合的必要性 | 第19-20页 |
| 1.5.2 技术复合的可行性 | 第20页 |
| 1.5.3“电解—约束刻蚀”复合加工的优势 | 第20页 |
| 1.6 本文主要研究目标及内容 | 第20-22页 |
| 1.6.1 研究目标 | 第20-21页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验方法 | 第22-30页 |
| 2.1 实验试剂及加工材料 | 第22-23页 |
| 2.1.1 实验所用试剂 | 第22页 |
| 2.1.2 被加工材料 | 第22-23页 |
| 2.1.3 其他实验装置及材料 | 第23页 |
| 2.2 工具电极（模板电极）的制作 | 第23-25页 |
| 2.2.1 Pt微圆柱电极的制作 | 第23-24页 |
| 2.2.2 PMMA/Ti/Pt模板电极的制作 | 第24-25页 |
| 2.3 电解槽 | 第25-26页 |
| 2.4 超精密电化学加工系统 | 第26-28页 |
| 2.4.1 仪器的组成及其性能 | 第26-28页 |
| 2.5“电解—约束刻蚀”复合加工的复合方式 | 第28页 |
| 2.6 电化学微加工实验的操作步骤及注意事项 | 第28-30页 |
| 2.6.1 电化学微加工实验操作步骤 | 第28-29页 |
| 2.6.2 电化学微加工平台注意事项 | 第29-30页 |
| 第3章 钛合金TC11的约束刻蚀体系研究 | 第30-37页 |
| 3.1 前言 | 第30-31页 |
| 3.2 钛合金约束刻蚀体系的选择 | 第31-36页 |
| 3.2.1 刻蚀速率的腐蚀失重法测定 | 第31-32页 |
| 3.2.2 塔菲尔曲线的测量和电化学腐蚀速率推算 | 第32-34页 |
| 3.2.3 捕捉剂的选择 | 第34页 |
| 3.2.4 循环伏安曲线分析 | 第34-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 钛合金TC11“电解—约束刻蚀”复合加工实验研究 | 第37-53页 |
| 4.1 Pt微圆柱电极的约束刻蚀加工研究 | 第37-41页 |
| 4.2“电解—约束刻蚀”复合加工研究 | 第41-44页 |
| 4.2.1“电解—约束刻蚀”加工的复合电解液体系的筛选 | 第41-44页 |
| 4.3 复合电解液的单因素实验 | 第44-50页 |
| 4.4 络合物和表面活性剂对复合加工的影响 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 复合加工参数及微结构的加工研究 | 第53-63页 |
| 5.1 前言 | 第53页 |
| 5.2 实验加工条件及方案 | 第53-55页 |
| 5.2.1 实验加工条件 | 第53-54页 |
| 5.2.2 实验方案 | 第54-55页 |
| 5.3 加工精度各因素方差及显著性分析 | 第55-56页 |
| 5.4 加工精度的响应面分析 | 第56-59页 |
| 5.5 CELT用于复杂微结构的初步研究 | 第59-62页 |
| 5.5.1 PMMA/Ti/Pt模板电极与基底之间溶液的更新补充 | 第60-61页 |
| 5.5.2 三维微结构的复制加工研究 | 第61-62页 |
| 5.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 研究展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
