| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.3 国内外相关技术研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3.1 确定性抛光研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 自动化抛光设备研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 气动伺服系统控制策略研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 气动柔顺抛光工具系统开发 | 第21-37页 |
| 2.1 气动柔顺抛光工具机械结构 | 第22-25页 |
| 2.2 气动柔顺抛光工具系统硬件构成及选型 | 第25-31页 |
| 2.3 抛光力实时控制系统平台开发 | 第31-36页 |
| 2.3.1 抛光力实时系统工作原理 | 第32-33页 |
| 2.3.2 抛光力实时系统搭建 | 第33-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 气动伺服抛光力控制系统数学建模 | 第37-51页 |
| 3.1 气动伺服系统数学模型推导 | 第37-45页 |
| 3.1.1 气动动力机构数学模型 | 第38-41页 |
| 3.1.1.1 气缸活塞力平衡方程 | 第38-39页 |
| 3.1.1.2 流量连续性方程 | 第39-40页 |
| 3.1.1.3 电气比例阀阀口流量方程 | 第40页 |
| 3.1.1.4 气动动力机构模型推导 | 第40-41页 |
| 3.1.2 电气比例阀数学模型 | 第41-45页 |
| 3.1.2.1 阀芯力平衡方程 | 第41-42页 |
| 3.1.2.2 质量流量连续性方程 | 第42-43页 |
| 3.1.2.3 电气比例阀模型推导 | 第43-45页 |
| 3.1.3 气动伺服系统总模型推导 | 第45页 |
| 3.2 气动伺服系统数学模型在线辨识 | 第45-49页 |
| 3.2.1 系统辨识概述 | 第45-46页 |
| 3.2.2 模型参数在线辨识实验 | 第46-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 气动抛光力实时控制策略研究 | 第51-79页 |
| 4.1 抛光力 PID 闭环控制 | 第52-58页 |
| 4.1.1 PID 控制原理 | 第52页 |
| 4.1.2 数字 PID 控制 | 第52-54页 |
| 4.1.2.1 位置式 PID 控制算法 | 第53页 |
| 4.1.2.2 增量式 PID 控制算法 | 第53-54页 |
| 4.1.3 抛光力 PID 闭环控制实验 | 第54-57页 |
| 4.1.3.1 PID 参数初值确定 | 第54-55页 |
| 4.1.3.2 PID 控制实验 | 第55-57页 |
| 4.1.4 Kistler 验证实验 | 第57-58页 |
| 4.2 抛光力前馈补偿 PID 闭环控制 | 第58-59页 |
| 4.2.1 前馈补偿 PID 控制原理 | 第58页 |
| 4.2.2 抛光力前馈补偿 PID 闭环控制实验 | 第58-59页 |
| 4.3 抛光力单神经元自适应 PID 闭环控制 | 第59-63页 |
| 4.3.1 有监督的 Hebb 学习规则 | 第60页 |
| 4.3.2 单神经元自适应 PID 控制原理 | 第60-61页 |
| 4.3.3 抛光力单神经元自适应 PID 闭环控制实验 | 第61-63页 |
| 4.4 抛光力在线自整定神经网络 PID 闭环控制 | 第63-78页 |
| 4.4.1 在线自整定神经网络 PID 控制算法 | 第63-66页 |
| 4.4.2 神经网络 PID 控制算法稳定性分析 | 第66-69页 |
| 4.4.3 在线自整定神经网络 PID 控制实验 | 第69-78页 |
| 4.4.3.1 恒力控制 | 第69-70页 |
| 4.4.3.2 变力控制 | 第70-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 边缘效应研究 | 第79-101页 |
| 5.1 考虑边缘效应时抛光材料去除的研究 | 第79-89页 |
| 5.1.1 接触压强分布模型 | 第80-85页 |
| 5.1.1.1 线性模型 | 第80-81页 |
| 5.1.1.2 Skin 模型 | 第81-83页 |
| 5.1.1.3 线性 Skin 模型 | 第83页 |
| 5.1.1.4 Divided skin 模型 | 第83-85页 |
| 5.1.2 相对速度模型 | 第85-86页 |
| 5.1.2.1 沿直线轨迹的相对速度模型 | 第85页 |
| 5.1.2.2 沿曲线轨迹的相对速度模型 | 第85-86页 |
| 5.1.3 材料去除廓形 | 第86-89页 |
| 5.1.3.1 正交于直线轨迹的材料去除廓形 | 第87-88页 |
| 5.1.3.2 正交于曲线轨迹的材料去除廓形 | 第88-89页 |
| 5.2 材料去除实验验证及仿真分析 | 第89-100页 |
| 5.2.1 抛光实验条件 | 第89-90页 |
| 5.2.2 实验验证及仿真分析 | 第90-100页 |
| 5.2.2.1 沿直线轨迹的抛光实验 | 第90-94页 |
| 5.2.2.2 沿曲线轨迹的抛光实验 | 第94-98页 |
| 5.2.2.3 关于边缘效应的讨论分析 | 第98-100页 |
| 5.3 本章小结 | 第100-101页 |
| 第6章 结论 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-113页 |
| 作者简介及攻读学位期间的主要研究成果 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |