| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 感性耦合等离子体源简介 | 第8-9页 |
| 1.2 典Langmuir探针测量原理简介 | 第9-10页 |
| 1.3 射频等离子体中的Langmuir探针 | 第10-17页 |
| 1.3.1 射频等离子体中的探针特性 | 第10-11页 |
| 1.3.2 射频补偿方法 | 第11-16页 |
| 1.3.3 无补偿的测量条件 | 第16-17页 |
| 1.4 磁场对感性耦合等离子体影响的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.5 本课题的提出及意义 | 第19-20页 |
| 2 实验系统介绍 | 第20-34页 |
| 2.1 实验装置简介 | 第20-23页 |
| 2.2 实验测量诊断装置及其改进 | 第23-34页 |
| 2.2.1 Z-Scan测量系统 | 第23-25页 |
| 2.2.2 Γ型匹配网络及其改进 | 第25-26页 |
| 2.2.3 等离子体净吸收功率 | 第26-27页 |
| 2.2.4 Smith圆图原理介绍 | 第27-31页 |
| 2.2.5 自制L型补偿探针的制作方法 | 第31-33页 |
| 2.2.6 自制L型补偿探针的优点讨论 | 第33-34页 |
| 3 Helmholtz线圈磁场位形下等离子体参数径向分布 | 第34-40页 |
| 3.1 磁场空间分布 | 第34-35页 |
| 3.2 电子温度径向分布 | 第35-37页 |
| 3.3 电子密度径向分布 | 第37-39页 |
| 3.4 等离子体空间电位径向分布 | 第39-40页 |
| 4 非对称Helmholtz线圈磁场位形下等离子体参数径向分布 | 第40-48页 |
| 4.1 轴向磁场位形下等离子体参数径向分布 | 第40-44页 |
| 4.1.1 磁场空间分布 | 第40-42页 |
| 4.1.2 等离子体参数径向分布 | 第42-44页 |
| 4.2 会切磁场位形下等离子体参数径向分布 | 第44-48页 |
| 4.2.1 磁场空间分布 | 第44-46页 |
| 4.2.2 等离子体参数径向分布 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |