| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 超材料 | 第8-12页 |
| 1.3 CdTe/CdS的基本性质 | 第12-13页 |
| 1.4 CdTe/CdS薄膜在CdTe薄膜太阳能电池中的应用 | 第13-15页 |
| 1.4.1 薄膜太阳能电池的发展背景及研究现状 | 第13页 |
| 1.4.2 太阳能电池的基本原理 | 第13-14页 |
| 1.4.3 CdTe薄膜太阳能电池的基本结构 | 第14-15页 |
| 1.4.4 CdTe薄膜太阳能电池的能带结构 | 第15页 |
| 1.5 超材料提高薄膜太阳能电池光吸收的研究现状 | 第15-19页 |
| 1.6 本课题的研究意义及主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验及测试 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 实验镀膜仪器 | 第21-23页 |
| 2.2.1 磁控溅射 | 第21-22页 |
| 2.2.2 电子束蒸镀 | 第22-23页 |
| 2.3 测试仪器 | 第23-25页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第23-24页 |
| 2.3.2 扫描电镜 | 第24页 |
| 2.3.3 椭圆偏振光谱仪 | 第24-25页 |
| 2.3.4 台阶仪 | 第25页 |
| 2.4 薄膜的制备过程 | 第25-27页 |
| 2.4.1 玻璃衬底的清洗 | 第25-26页 |
| 2.4.2 CdS/CdTe薄膜的制备过程 | 第26页 |
| 2.4.3 Ag薄膜的制备过程 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 实验结果与讨论 | 第28-43页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 磁控溅射薄膜沉积影响因素的讨论 | 第28-29页 |
| 3.3 溅射功率对CdS/CdTe薄膜结晶性能和形貌结构的影响 | 第29-41页 |
| 3.3.1 低功率下CdS薄膜的表征分析 | 第29-33页 |
| 3.3.2 低功率下CdTe薄膜的表征分析 | 第33-35页 |
| 3.3.3 高功率下CdS薄膜的表征分析 | 第35-37页 |
| 3.3.4 高功率下CdTe薄膜的表征分析 | 第37-41页 |
| 3.4 化学腐蚀对CdTe薄膜结晶性能和形貌的影响 | 第41-42页 |
| 3.5 Ag薄膜的表征分析 | 第42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 光栅超材料提高CdTe薄膜光吸收的优化设计 | 第43-61页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 光栅超材料CdTe薄膜太阳能电池的设计基础 | 第43-46页 |
| 4.2.1 理论模型的建立 | 第43-44页 |
| 4.2.2 理论计算基础 | 第44-45页 |
| 4.2.3 薄膜的材料属性 | 第45-46页 |
| 4.3 单光栅超材料提高CdTe薄膜光吸收的数值仿真分析 | 第46-50页 |
| 4.3.1 金属光栅宽度对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第46-48页 |
| 4.3.2 金属光栅厚度对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第48-49页 |
| 4.3.3 CdTe层厚度对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第49-50页 |
| 4.4 双光栅超材料提高CdTe薄膜光吸收的数值仿真分析 | 第50-59页 |
| 4.4.1 金属光栅厚度对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第50-52页 |
| 4.4.2 金属光栅周期对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第52-54页 |
| 4.4.3 CdTe层厚度对吸收层CdTe捕光效应的影响 | 第54-56页 |
| 4.4.4 光栅厚度和周期最优结构设计及分析 | 第56-58页 |
| 4.4.5 光栅厚度和周期以及CdTe厚度最优结构设计及分析 | 第58-59页 |
| 4.5 单光栅和双光栅超材料提高CdTe薄膜光吸收仿真比较 | 第59-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
