| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 切削钛合金刀具的表面改性研究进展 | 第13-14页 |
| 1.3 纳米复合涂层的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.3.1 TiSiN和CrSiN涂层的研究进展 | 第14-15页 |
| 1.3.2 C元素和O元素对Ti(Cr)SiN涂层的影响 | 第15-16页 |
| 1.4 纳米复合涂层的高温稳定性研究 | 第16-18页 |
| 1.4.1 真空热处理对纳米复合涂层性能的影响 | 第16-17页 |
| 1.4.2 纳米复合涂层的高温抗氧化性能 | 第17-18页 |
| 1.5 本文的研究目的及研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 实验方法及原理 | 第19-27页 |
| 2.1 涂层的制备 | 第19-21页 |
| 2.1.1 Ti(Cr)SiC(O)N六种涂层的制备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 TiSiCN/DLC涂层的制备 | 第20-21页 |
| 2.2 涂层的表面形貌和断面形貌分析 | 第21-22页 |
| 2.3 涂层成分和结构表征 | 第22-23页 |
| 2.3.1 成分分析 | 第22页 |
| 2.3.2 相结构分析 | 第22-23页 |
| 2.4 涂层机械性能表征 | 第23-25页 |
| 2.4.1 显微硬度测量 | 第23-24页 |
| 2.4.2 压痕实验评价 | 第24页 |
| 2.4.3 膜-基结合性能评价 | 第24页 |
| 2.4.4 摩擦磨损分析 | 第24-25页 |
| 2.5 涂层高温稳定性评价 | 第25-27页 |
| 2.5.1 真空中热处理实验 | 第25-26页 |
| 2.5.2 空气中热处理实验 | 第26-27页 |
| 第3章 沉积态Ti(Cr)SiC(O)N涂层结构和性能的研究 | 第27-46页 |
| 3.1 沉积态涂层表面形貌和断面形貌分析 | 第27-30页 |
| 3.1.1 涂层沉积态的表面形貌分析 | 第27-29页 |
| 3.1.2 涂层沉积态的断面形貌分析 | 第29-30页 |
| 3.2 沉积态涂层成分和结构的分析 | 第30-37页 |
| 3.2.1 涂层的成分分析 | 第30-33页 |
| 3.2.2 涂层的XRD相结构分析 | 第33-36页 |
| 3.2.3 涂层的XPS高分辨分析 | 第36-37页 |
| 3.3 Ti(Cr)SiC(O)N涂层沉积态性能的研究 | 第37-44页 |
| 3.3.1 涂层沉积态的硬度分析 | 第37-40页 |
| 3.3.2 涂层沉积态压痕实验结果 | 第40-42页 |
| 3.3.3 涂层沉积态摩擦磨损性能研究 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 高温热处理对Ti(Cr)SiC(O)N涂层的影响 | 第46-66页 |
| 4.1 500℃真空热处理对涂层结构和性能的影响 | 第46-53页 |
| 4.1.1 真空热处理对涂层结构的影响 | 第46-47页 |
| 4.1.2 真空热处理对涂层硬度的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.3 真空热处理对涂层结合性能的影响 | 第48-50页 |
| 4.1.4 真空热处理对涂层的摩擦磨损性能的影响 | 第50-53页 |
| 4.2 700℃空气中热处理对涂层结构和性能的影响 | 第53-64页 |
| 4.2.1 空气中热处理对涂层的表面形貌和断面形貌的影响 | 第53-56页 |
| 4.2.2 空气中热处理对涂层成分和结构的影响 | 第56-59页 |
| 4.2.3 空气中热处理对涂层硬度的影响 | 第59-60页 |
| 4.2.4 空气中热处理对结合性能和压痕韧性的影响 | 第60-62页 |
| 4.2.5 空气中热处理度对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第62-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 第5章 TiSiCN/DLC涂层的机械性能研究 | 第66-71页 |
| 5.1 TiSiCN/DLC涂层的硬度分析 | 第66-67页 |
| 5.2 TiSiCN/DLC涂层的膜-基结合性能分析 | 第67页 |
| 5.3 TiSiCN/DLC涂层摩擦磨损性能的研究 | 第67-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第80页 |
